...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Pomiary Automatyka Kontrola >Analiza Topografii Powierzchni Dyfrakcyjnych Elementów Optycznych Z Wykorzystaniem Interferometrii światła Białego
【24h】

Analiza Topografii Powierzchni Dyfrakcyjnych Elementów Optycznych Z Wykorzystaniem Interferometrii światła Białego

机译：用白光干涉法分析衍射光学元件的表面

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

W artykule przedstawiono możliwości oceny i analizy topografii powierzchni dyfrakcyjnych elementów optycznych za pomocą jednej z metod interferometrii światła białego. W badaniach wykorzystano próbkę zawierającą 8 elementów dyfrakcyjnych generujących wzory optyczne o kształtach linii, zbioru linii (poziomych i pionowych) oraz krzyża. Elementy oceniano pod względem geometrii ukształtowania powierzchni za pomocą systemu pomiarowego Talysurf CCI 6000 firmy Taylor Hobson. Zarejestrowane dane pomiarowe analizowano korzystając z oprogramowania Talymap Platinum. Wyniki badań potwierdziły dużą przydatność metody pomiarowej, jak i zastosowanego urządzenia w ocenie tego typu powierzchni posiadających złożoną, wielowarstwową strukturę.
机译：本文介绍了使用一种白光干涉测量方法评估和分析衍射光学元件表面形貌的可能性。该研究使用了一个包含8个衍射元素的样本，这些衍射元素生成具有线形，一组线（水平和垂直）和十字形的光学图案。使用Taylor Hobson的Talysurf CCI 6000测量系统评估了元件的表面几何形状。使用Talymap Platinum软件分析记录的测量数据。测试结果证实了用于评估具有复杂多层结构的这种类型的表面的测量方法和装置的巨大实用性。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号