...
首页> 外文期刊>Semiconductor FPD World >リアライズAT,独自技術を満載した枚葉式洗浄装置を開発スピンウェット処理と高精度ガス制御を融合ドライ装置との組みあわせも可能な密閉型洗浄装置も開発進む
【24h】

リアライズAT,独自技術を満載した枚葉式洗浄装置を開発スピンウェット処理と高精度ガス制御を融合ドライ装置との組みあわせも可能な密閉型洗浄装置も開発進む

机译:实现AT开发的搭载了独创技术的单晶圆清洗装置封闭式清洗装置,能够将旋转湿法处理与高精度气体控制相结合并与干燥装置相结合

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

リアライズATは,スピンウェット処理技術と高精度ガス制御(気流制御)技術を融合した300mmウェーハ対応枚葉洗浄装置「鴻鵠(BIG BIRD)」の製造・販売を開始した。早ければ06年10月頃には出荷を見込んでいる他,次世代装置の投入も計画している。同装置の製造・販売は,兼松およびタツモなどと資本提携を含めた協力関係を構築することにより行われる。すでにデモ機がクツモのクリーンルームにて稼動を始めており,今後プロセスの微細化が加速する半導体市場に対し,積極的な市場展開を進める体制が整った。
机译:Realize AT已开始制造和销售300mm兼容晶片的单晶片清洗系统“ BIG BIRD”,该系统结合了旋转湿法处理技术和高精度气体控制(气流控制)技术。我们计划最早在2006年10月之前出货该产品,并计划推出下一代设备。该设备的生产和销售将通过与金松和达摩建立合作关系,包括建立资本联盟来进行。该演示机已经在Kutsumo的洁净室中开始运行,并且已经建立了一个系统以主动扩展到半导体市场,该市场在未来将进一步加快工艺的小型化。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号