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ラミナー型回折格子の回折効率

机译:层状光栅的衍射效率

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摘要

Absolute diffraction efficiency of laminar-type diffraction gratings used for spectrometers in the soft X-ray region was examined. Two types of diffraction gratings were produced : one has a groove density of 2400 grooves/mm and the other 3600 grooves/mm. The absolute diffraction efficiency of the two gratings was measured in the wavelength range from 0.6 nm to 6nm at the Synchrotron Radiation Center of Ritsumeikan University. Furthermore, the actual measurement values and the calculated values by use of some kinds of diffraction efficiency calculation software were compared in terms of absolute diffraction efficiency. The present paper describes the examination. Also discussed is the method for manufacturing laminar-type holographic diffraction gratings.%軟Ⅹ線領域用分光器に使用されるラミナー型回折格子の絶対回折効率に関して検討を行った。溝本数2400本 /mmと3600本/mmのラミナー型ホログラフィツク回折格子を製作し,立命館大学SRセンターにおいて波長 0.6~6nmでの絶対回折効率を実測した。また,これらの回折格子に関して,各種回折効率計算ソフトにより シミュレーションを行い,実測値との比較を行った。本稿ではこれらの測定結果と計算結果について報告する。
机译:在软X射线区域中检查了用于光谱仪的层状衍射光栅的绝对衍射效率,制得了两种类型的衍射光栅:一种具有2400沟槽/ mm的沟槽密度,另一种具有3600沟槽/ mm的沟槽密度。在立命馆大学同步辐射中心在0.6 nm至6nm的波长范围内测量了这两个光栅的衍射效率。此外,还对使用某些衍射效率计算软件的实际测量值和计算值进行了比较。本文介绍了这种检查方法,还讨论了层状全息衍射光栅的制造方法。%检查了用于软X射线区域光谱仪的层状衍射光栅的绝对衍射效率。它是制造具有2400个凹槽/ mm和3600个凹槽/ mm的层状全息光栅,并在立命馆SR中心在0.6至6nm的波长下测量绝对衍射效率。此外,我们使用各种衍射效率计算软件对这些衍射光栅进行了仿真,并将它们与测量值进行了比较。在本文中,我们报告了这些测量结果和计算结果。

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