Fabrication of ZnO-based metal-insulator-semiconductor diodes by ion implantation

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• 来源
  《Solid-State Electronics》 |2004年第12期|p.2343-2346|共4页
• 作者

  Ya.I. Alivov; D.C. Look; B.M. Ataev; M.V. Chukichev; V.V. Mamedov; V.I. Zinenko; Yu.A. Agafonov; A.N. Pustovit;

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• 作者单位

  Physics Department, Institute of Microelectronics Technology, RAS, Shkolny Bulvar 1B15, Chernogolovka, Moscow 142432, Russia;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 一般性问题;
• 关键词

  zinc oxide; implantation; metal-insulator-semiconductor diodes; electroluminescence;

  机译：氧化锌;注入;金属-绝缘体-半导体二极管;电致发光;