Xact200TEM sample preparation system

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机译：Xact200TEM样品制备系统

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The Xact200 is a second generation transmission electron microscope (TEM) sample preparation system for the semiconductor industry. Camtek calls the system an alternative to traditional focused ion beam (FIB) analysis. TEM enables analysis of small semiconductor feature dimensions and complex materi-als. TheXact200 enables sample preparation for 2X and IX nodes, combining Adaptive Ion Milling (AIM) technology with an integrated FE SEM column and in-process STEM imaging capability.

机译：Xact200是用于半导体行业的第二代透射电子显微镜（TEM）样品制备系统。 Camtek称该系统为传统聚焦离子束（FIB）分析的替代方案。 TEM可以分析较小的半导体特征尺寸和复杂的材料。 Xact200将自适应离子铣削（AIM）技术与集成的FE SEM色谱柱和过程中STEM成像功能相结合，可为2X和IX节点准备样品。

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《Solid state technology》 |2012年第2期|p.30|共1页
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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
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