真空とは「大気圧よりも低い状態」を表す.すべての真空作業は,当然のことながら「真空」を作り出すことから始まる.「排気」とは,文字通り,ある容器(真空を扱うので真空容器とも呼ばれる)内にある気体を真空ポンプを使って容器から排出し,真空を作り出す過程である.身近な電気掃除機(これも真空ポンプの一種,英語ではVacuum cleaner)を想像すると,「排気」には真空ポンプで容器の中の気体を積極的に吸い出す過程のような印象があるが,実際はそうではない.%Presented here are the fundamental concepts of evacuation process and the key features of various vacuum pumps. Several essential terms, including evacuation time constant, pumping speed and conductance, are introduced to help the understanding of evacuation mechanism and to enable the design of vacuum systems. The vacuum pumps are systematically classified with their operating principles, structures and characteristics. It will help readers to select the proper vacuum pumps and to realize the reasonable vacuum system in different situations.
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