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二硫化モリブデン複合固体潤滑剤を用いた直動転がり案内装置

机译：使用二硫化钼复合固体润滑剂的直线运动滚动引导装置

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摘要

The technical trend of solid lubricant rolling bearing and linear motion guide was reviewed. Especially, a newly developed oil-free solid lubricant linear motion guide by authors was also reported in details in this present. The rolling ball of the guide was coated by sputtering molybdenum disulfide (MoS_2) and some special transition metal simultaneously, while the spacer ball made of poly-tetrafluoroethylene (PTFE) was also applied to the guide. By this way, a composite solid lubricant with excellent wear resistance properties was provided and there has been no any organic solvent and binder added, resulting in lower particle generation and low lever of out gas. It is expected that the oil-free solid lubricant linear motion guide could be applied to high temperature, high vacuum, radiation and space utilizations.%直動転がり案内装置（LMガイドとも呼ぶ）は，1972年rnに開発され，35年以上の歳月が経った．「転がり」によるrn直線運動の実現は，機器の高速化，高精度化，省力化など大rnきなメリットをもたらし，現在，半導体製造装置，工作機rn械，医療機器など，あらゆる機械装置の分野へ広く適用されrnている．さらに近年では，潤滑油やグリースの使用が困難でrnある特殊環境で使用される梯器において，直動案内転がり装rn置のニーズが高まっている．
机译：综述了固体润滑剂滚动轴承和直线运动导轨的技术趋势。特别是，本发明人还详细报道了新开发的无油固体润滑剂直线运动导轨。同时通过溅射二硫化钼（MoS_2）和一些特殊的过渡金属涂覆导向器的滚动球，同时还将聚四氟乙烯（PTFE）制成的隔离球应用于导向器。通过这种方式，提供了具有优异的耐磨性的复合固体润滑剂，并且没有添加任何有机溶剂和粘合剂，从而导致较低的颗粒产生和较低的排气杠杆。预计该无油固体润滑剂直线运动导轨可应用于高温，高真空，辐射和空间利用。％直动転がり案内装置（LMガイドとも呼ぶ）は，1972年rnに开に，35年以上の歳月が経った。「転がり」によるrn直线运动の実现は，机器の高速化，精细化，省力化など大rnきなメリットをもたらし，现在，半导体制造装置，工作机さらに近年では，润滑油やグリースの使用が困难でrnある特殊环境で使用される梯器において，直动案内転がり装rn置のニーズが高まっている。

著录项

  • 来源
    《真空》 |2008年第7期|485-489|共5页
  • 作者

    楊　宏; 高橋　徹;

  • 作者单位
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  • 正文语种 jpn
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