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スパッタ法によるer添加カルコゲナイドガラス薄膜の作製と特性

机译：溅射法制备掺er硫属化物玻璃薄膜及其性能

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Erbium doped Ge-Ga-Se thin films were deposited by RF magnetron sputtering of powder and sintered composite targets. The dependence of the photoluminescence (PL) intensity of the films on the deposition conditions has been investigated. It is found that the intensity of PL depends on the RF power, whereas the composition of the films does not depend on that of the targets. Although the shape of PL spectrum in the films is similar to that of bulk glasses, the value of the PL life times in the films is shorter than that of bulk glasses. The reason would be the difference of composition of matrix glasses between bulk and the films.%希土類を添加したガラスは，ファイバー型光増幅器などのrn光通信デバイスとして重要な位置を占めている．シリカガラrnスのは希土類の溶解度が低く高濃度のドープには適していなrnい．ガリウムなどを含むセレンや硫黄を主成分とするカルコrnゲナイドガラスは，希土類を高濃度に添加することが可能なrn材料である．
机译：粉末和烧结复合靶材的射频磁控溅射沉积deposited掺杂的Ge-Ga-Se薄膜，研究了薄膜的光致发光强度与沉积条件的关系，发现PL的强度取决于RF功率，薄膜的有效成分不取决于靶材。尽管薄膜的PL光谱形状与大块玻璃相似，但薄膜中PL寿命的值更短作为纤维类光放大器等光通信装置，添加有稀土元素的玻璃比块状玻璃占有重要的位置，其原因是块状的玻璃与薄膜之间的基质玻璃的组成不同。二氧化硅玻璃由于其稀土溶解度低而不适用于高浓度涂料。含有以镓和硫为主要成分的硒的中铝玻璃是能够添加高浓度的稀土元素的材料。

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