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【24h】

1 um Rundlauf- und Formgenauigkeit

机译:1围绕同心度和形状精度

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摘要

Ein Trend ist in der Halbleiterindustrie ungebrochen: Chips werden immer kleiner, schneller, zuverlässiger und leistungsfähiger. Gleichzeitig werden die Hign-tech-Komponenten auch kostengünstiger. Voraussetzung dafür sind modernste fo-tolithografische Produktionsanlagen, sogenannte Waferstepper oder Waferscan-ner, mit hochgenauen optischen Systemen und Linsen.
机译:半导体行业有一个持续的趋势:芯片变得越来越小,越来越快,更可靠,功能越来越强大。同时,Hign-tech组件也越来越便宜。这就需要最先进的光刻生产系统,即所谓的晶圆步进机或晶圆扫描仪,以及高精度的光学系统和透镜。

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  • 来源
    《Werkstatt + Betrieb》 |2012年第9期|p.146|共1页
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  • 收录信息 美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 ger
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