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Mit hohem Puls zur Dauerläufer-Kondition

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Entscheidende Bedeutung für die Qualität von PVD-Schichten zum Verschleißschutz hat neben verschiedenen anderen Parametern - beispielsweise Reaktiv- und Inertgasdrücken, Substratbias und anlagenspezifischen Parametern - auch die Ionisation während des Beschichtungs-prozesses. Die Zusammenhänge zwischen Ionisation und Qualität der Beschichtung hat Cemecon frühzeitig erkannt und in die Anlagentechnologie umgemünzt. rnSo hat das Unternehmen aus Würselen in den vergangenen 20 Jahren zu zahlreichen Verbesserungen der Beschichtungs-technologie und zur Ionisationserhöhung beigetragen und in die Beschichtungsan-lagen vom Typ >CC800< (Bild 1) integriert. Neben optimierten Magnetfeldern, Pulstechnik und Gasführung sind insbesondere die patentierte Anoden- sowie die Boostertechnologie für die herausragenden Eigenschaften der Supernitrid-Schicht-werkstoffe verantwortlich. rnDie hohe Ionisation der CC800/9-An-lage erlaubt die Herstellung von Superni-triden bei vergleichsweise niedrigen Bias-Spannungen. Das heißt: Die aufwachsende Schicht wird gleichmäßig einem intensiven niederenergetischen Beschuss ausge- rnsetzt. Durch diesen sanften, jedoch hochdosierten Ionenbeschuss wird eine gleichmäßig hohe Verdichtung der Schicht ohne unnötige Schichtdefekte erzeugt.
机译：除了各种其他参数（例如反应性气体压力和惰性气体压力，基材偏压和特定于工厂的参数）外，涂覆过程中的电离对于PVD层的耐磨性至关重要。 Cemecon在早期就认识到电离与涂层质量之间的关系，并将其转化为系统技术。因此，来自Würselen的公司在过去20年中为涂层技术的许多改进和增加的电离做出了贡献，并将其集成到了CC800 <涂层系统中（图1）。除了优化的磁场，脉冲技术和气体路径选择外，获得专利的阳极和增强技术尤其是使超氮化物层材料具有出色性能的原因。 CC800 / 9系统的高电离能力可生产具有较低偏置电压的超氮化物。这意味着生长层均匀地受到强烈的低能轰击。这种轻柔但大剂量的离子轰击可均匀均匀地压缩涂层，而不会造成不必要的层缺陷。

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  • 来源
    《Werkstatt + Betrieb》 |2009年第4期|28-28|共1页
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  • 收录信息 美国《工程索引》(EI);
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