摘要：PMMA作为一种成本低、光透性强、机械和化学性质好及制作加工简单的高分子材料，已经被广泛用于反应器,PCR,CE等微流控装置的制作中。本文介绍了一种基于PMMA材料的微阀和微泵的设计、制作和表征方法。微阀由PMMA/PDMS/PMMA三层组成。上层为PMMA充放气层，中间为PDMS薄膜层，下层为PMMA流体通道层。微阀的开关可以通过改变微阀充放气层腔体中的气压实现。当微阀腔体被充气时，PDMS膜向下发生形变将液流通道堵塞，微阀处于关闭状态；当腔体被抽真空时，PDMS膜被吸附到上层腔体的一侧，流体通道保持畅通，微阀处于开放状态。由三个微阀经空间串联可以形成一个微泵。依靠三个阀按顺序地开关，可以实现对流体通道中液体的驱动。通过改变微阀的体积或者开放时间，可以精确地获得μL/s至nL/s的流速。微泵泵压可以达到12kPa。该微阀和微泵具有制作简单、成本低、寿命长和易于集成等优点，可以被广泛应用于微流控装置中液流的驱动和精确控制。
