摘要：MEMS(Micro-electro-mechanical systems,微电子机械系统)器件具有微型化、低成本、集成化、功耗低、性能优异等特点,在引信等武器装备领域得到广泛的应用,其可靠性问题日益突显.传统的以故障统计分析为主导的“设计-建立物理样机-试验-修改物理样机”的串行工作模式面临越来越大的挑战,迫切需要研究和应用基于故障物理的MEMS可靠性设计与分析技术.本文简要介绍了基于故障物理的MEMS可靠性研究方法和技术路线;以电容式RFMEMS开关为例介绍了基于故障物理的MEMS可靠性研究方法的主要步骤,包括:采用多物理场3D有限元模型研究MEMS器件的行为,应用MEMS器件的行为模型和失效物理试验技术研究其失效机理,引入优值建立通用的MEMS器件失效预测模型.
