摘要:1研究的起因和过程上世纪八九十年代,在技术和设备引进中,发现电子元器件密封性氦质谱检测的美国军用标准有时难以甚至无法实施检测,报告人着手研究并于2000年开始发表文章.2002年后,在对可增性增长技术攻关试验样品和电子4所比对样品检漏和内部气体分析数据的分析中发现,虽按现行军用标准密封性合格,但仍有部分样品存在明显的泄漏,使筛选或更长时间的贮存后内部水汽不合格.自此,本报告人多次送出建议报告,得到了许多专家和领导机关多位同志宝贵支持,与北京航空航天大学、中科院上海技术物理所、电子4所、航天510所及Inficon美国德国公司的专家和科技人员合作,同科通厂的多位科技人员一起,对密封性质谱检测要求和方法,执迷地进行了不懈的研究探索,至今已获创新性的突破.