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Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010

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1.Quantitative specific binding of breast cancer cells in an antibody-functionalized microchamber array

机译：抗体功能化微腔阵列中乳腺癌细胞的定量特异性结合
- 作者：Zheng X.J.;Cheung L.S.L.;Wang L.;Schroeder J.;Heimark R.L.;Baygents J.C.;Guzman R.;Zohar Y.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
2.Optoelectronic Tweezers for quantitative assessment of embryo developmental stage

机译：光电镊子，用于胚胎发育阶段的定量评估
- 作者：Valley J.K.;Garcia M.;Swinton P.;Neale S.;Hsan-Yin Hsu;Jamshidi A.;Wu M.C.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
3.In-situ mechanical characterization of mouse oocytes using a cell holding device

机译：使用细胞固定装置对小鼠卵母细胞进行原位机械表征
- 作者：Xinyu Liu;Fernandes R.;Jurisicova A.;Casper R.F.;Sun Y.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
4.A high performance electroporation chip integrating multi-well plate and annular interdigital microelectrodes

机译：集成多孔板和环形叉指微电极的高性能电穿孔芯片
- 作者：Zewen Wei;Huang Huang;Zicai Liang;Zhihong Li
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
5.Neuromedicator - a disposable drug delivery system with silicon microprobes for neural research

机译：Neuromedicator-用于神经研究的带有硅微探针的一次性药物输送系统
- 作者：Spieth S.;Schumacher A.;Kallenbach C.;Messner S.;Zengerle R.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
6.Biopsy needle tract cauterization using an embedded array of piezoceramic microheaters

机译：使用嵌入式陶瓷微加热器对活检针道进行烧灼
- 作者：Visvanathan K.;Gianchandani Y.B.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
7.Silicon ultrasonic horn actuated microprobes based self-calibrating viscosity sensor

机译：基于硅超声喇叭驱动的微探针自校准粘度传感器
- 作者：Ramkumar A.;Lal A.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
8.A piezoelectric valve manifold with embedded sensors for multi-drug delivery protocols

机译：带有嵌入式传感器的压电阀歧管，用于多种药物输送方案
- 作者：Evans A.T.;Chiravuri S.;Gianchandani Y.B.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
- Microvalve;
- drug delivery;
- liquid flow;
- manifold;
- piezoelectric;
9.In vivo monitoring of blood oxygenation using an implantable MEMS-based sensor

机译：使用基于MEMS的可植入传感器进行体内血液氧合监测
- 作者：Bingger P.;Fiala J.;Seifert A.;Weber N.;Foerster K.;Heilmann C.;Beyersdorf F.;Woias P.;Zappe H.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
10.Transplantation of a neurospheroid network onto the rat brain

机译：神经球网络移植到大鼠脑部
- 作者：Kato-Negishi M.;Tsuda Y.;Onoe H.;Takeuchi S.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
11.An electro-active nano-valve array for reusable drug delivery system

机译：用于可重复使用的药物输送系统的电活性纳米阀阵列
- 作者：Kuang-Fu Chang;Yao-Chuan Tsai;Wen-Pin Shih;Lung-Jieh Yang
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
12.Droplet transport on flat chemically heterogeneous surfaces via periodic wetting barriers and vibration

机译：通过周期性的润湿壁垒和振动，液滴在平坦的化学异质表面上传输
- 作者：Duncombe T.A.;Parsons J.F.;Bohringer K.F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
13.Geomorphology-assisted manipulation of magnet-actuated droplet for solid phase DNA extraction and droplet-in-oil PCR

机译：地貌学辅助的磁力驱动液滴的固相DNA提取和油滴PCR
- 作者：Yi Zhang;Tza-Huei Wang
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
14.New dimensionless number for superhydrophobicity study of micron/submicron patterned surfaces

机译：用于研究微米/亚微米图案表面的超疏水性的新无量纲数
- 作者：Longquan Chen;Yi-Kuen Lee
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
15.Oil droplet manipulation using liquid dielectrophoresis on electret with superlyophobic surfaces

机译：在超疏液表面的驻极体上使用液体介电电泳操作油滴
- 作者：Tianzhun Wu;Suzuki Y.;Kasagi N.;Kashiwagi K.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
16.High performance microfludic rectifier utilizing self-induced virtual valves in a sudden expansion channel with a block structure

机译：高性能微流体整流器，在块状结构的突然膨胀通道中利用自感应虚拟阀
- 作者：Hui-Chun Chen;Chien-Hsiung Tsai;Lung-Ming Fu;Che-Hsin Lin
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
17.A long-term, stable hydrophilic poly(dimethylsiloxane) coating for capillary-based pumping

机译：长期稳定的亲水性聚二甲基硅氧烷涂料，用于基于毛细管的泵送
- 作者：Lillehoj P.B.;Chih-Ming Ho
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
18.Nano particle filtration module for lab-on-a-chip devices

机译：用于芯片实验室设备的纳米颗粒过滤模块
- 作者：Shen C.;Pham H.T.M.;Sarro P.M.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
19.A fast and simple method to fabricate circular microchannels in polydimethylsiloxane (PDMS)

机译：在聚二甲基硅氧烷（PDMS）中制造圆形微通道的快速简便方法
- 作者：Abdelgawad M.;Chun Wu;Wei-Yin Chien;Yu Sun
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
20.A novel PDMS/Parylene microvalve with three dimentional dome petal shape

机译：具有三个三维穹顶花瓣形状的新型PDMS /聚对二甲苯微阀
- 作者：Jonghyun Oh;Gyuman Kim;Hongseok Noh
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
21.A novel approach for the fabrication of all-polymer microfluidic devices

机译：一种用于制造全聚合物微流控装置的新颖方法
- 作者：Kalkandjiev K.;Gutzweiler L.;Welsche M.;Zengerle R.;Koltay P.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
22.Modeling, fabrication and characterization of a high-performance micropump

机译：高性能微型泵的建模，制造和表征
- 作者：Herz M.;Horsch D.;Storch R.;Wackerle M.;Lueth T.;Richter M.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
23.On-demand and size-controlled production of emulsion droplet in microfludic devices

机译：按需和大小控制的微流控设备中乳剂液滴的生产
- 作者：Yamanishi Y.;Lin Feng;Arai F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
24.Development of pen-shaped portable biochemical reaction system based on magnetic beads handling

机译：基于磁珠处理的笔形便携式生化反应系统的开发
- 作者：Inagaki N.;Hida H.;Shikida M.;Okochi M.;Honda H.;Sato K.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
25.A high-flow Knudsen pump using a polymer membrane: Performance at and below atmospheric pressures

机译：使用聚合物膜的高流量Knudsen泵：在大气压或低于大气压下的性能
- 作者：Gupta N.K.;Gianchandani Y.B.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
- Knudsen pump;
- gas flow;
- liquid flow;
- nanoporous polymer;
- thermal transpiration;
26.Nanoliter scale droplet extraction in combination of deformable wall and super hydrophobic pattern in channel

机译：纳升级液滴提取结合通道中的可变形壁和超疏水模式
- 作者：Kobayashi T.;Konishi S.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
27.Bi-directional gas pump driven by a thermoelectric material

机译：由热电材料驱动的双向气泵
- 作者：Pharas K.;McNamara S.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
28.Cracking pressure control of parylene checkvalve using slanted tensile tethers

机译：使用倾斜的拉伸系链控制聚对二甲苯单向阀的破裂压力
- 作者：Lin J.C.-H.;Feiqiao Yu;Yu-Chong Tai
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
29.Acoustic mixing and chromatography in a PZT driven silicon microfluidic actuator

机译：PZT驱动的硅微流致动器中的声学混合和色谱
- 作者：Araz M.K.;Lal A.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
30.Generation of lipid vesicles using microfluidic T-junctions with pneumatic valves

机译：使用带有气动阀的微流体T型接头生成脂质囊泡
- 作者：Kurakazu T.;Takeuchi S.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
31.Organic photoconductive dielectrophoresis by using titanium oxide phthalocyanine for micro-particles manupulation

机译：氧化钛酞菁用于微粒处理的有机光电导电泳
- 作者：Tung-Ming Yu;Shi-Mo Yang;Hang-Ping Huang;Meng-Yen Ku;Sheng-Yang Tseng;Ming-Huei Liu;Long Hsu;Cheng-Hsien Liu
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
32.Thermo-sensitive microgels as in-situ sensor for temperature measurement in optoelectronic tweezers

机译：热敏微凝胶作为光电镊子中温度测量的原位传感器
- 作者：Hsan-yin Hsu;Vogler S.;Jamshidi A.;Valley J.;Shao Ning Pei;Pautot S.;Wu M.C.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
33.Ferro-paper actuators

机译：铁纸执行器
- 作者：Zhenwen Ding;Pinghung Wei;Babak Ziaie
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
34.Out-of-plane electrostatic microactuators with tunable stiffness

机译：刚度可调的面外静电微致动器
- 作者：Gaspar J.;Schmidt M.E.;Pedrini G.;Osten W.;Paul O.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
35.Patternable pyrolyzed carbon microspeaker

机译：可图案化的热解碳微型扬声器
- 作者：Lee P.;Lee S.S.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
36.Vertically bidirectional bistable microrelay with magnetostatic and thermal actuations

机译：具有静磁和热激励的垂直双向双稳态微继电器
- 作者：Yibo Wu;Congchun Zhang;Guifu Ding
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
37.High current low contact resistance platinum-coated CMOS-MEMS probes

机译：大电流低接触电阻镀铂CMOS-MEMS探头
- 作者：Liu J.;Draghi L.;Noman M.;Bain J.A.;Schlesinger T.E.;Fedder G.K.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
38.Optimized comb drive finger shape for shock-resistant actuation

机译：优化的梳齿驱动手指形状，可实现防震操作
- 作者：Engelen J.B.C.;Abelmann L.;Elwenspoek M.C.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
39.Scaling of folded electrothermal actuators

机译：折叠式电热执行器的缩放
- 作者：Gilgunn P.J.;Fedder G.K.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
40.A 2D chamber-free micro droplet generator array controlled by dynamic virtual walls

机译：由动态虚拟墙控制的二维无腔微滴发生器阵列
- 作者：Yen-Liang Lin;I-Da Yang;Ching-Chang Chieng;Fan-Gang Tseng
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
41.Bistable silicon microvalve with thermoelectrically driven thermopneumatic actuator for liquid flow control

机译：双稳态硅微阀，带有热电驱动的热气致动器，用于液体流量控制
- 作者：Huesgen T.;Lenk G.;Lemke T.;Woias P.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
42.Piezoelectric actuation of a direct write electrospun PVDF fiber

机译：直接写入电纺PVDF纤维的压电驱动
- 作者：Juan Pu;Xiaojun Yan;Yadong Jiang;Chieh Chang;Liwei Lin
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
43.Omni-directional actuation of magnetically driven microtool for enucleation of oocyte

机译：磁力驱动微型工具对卵母细胞去核的全向驱动
- 作者：Arai F.;Inomata N.;Kudo S.;Yamanishi Y.;Mizunuma T.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
44.3D supercapacitor using nickel electroplated vertical aligned carbon nanotube array electrode

机译：使用镍电镀垂直排列的碳纳米管阵列电极的3D超级电容器
- 作者：Yingqi Jiang;Pengbo Wang;Jie Zhang;Wei Li;Liwei Lin
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
45.Wafer-level vacuum sealing and encapsulation for fabrication of CMOS MEMS thermoelectric power generators

机译：晶圆级真空密封和封装，用于制造CMOS MEMS热电发电机
- 作者：Jin Xie;Chengkuo Lee;Ming-Fang Wang;Hanhua Feng
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
46.A novel self-starting MEMS-heat engine for thermal energy harvesting

机译：一种用于热能收集的新型自启动MEMS热引擎
- 作者：Huesgen T.;Woias P.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
47.Real-time biocatalyst loading and electron transfer via microfabricated transparent electrode

机译：通过微型透明电极实时负载生物催化剂并进行电子转移
- 作者：Parra E.A.;Higa A.;Buie C.R.;Coates J.D.;Liwei Lin
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
48.Hairlike carbon-fiber-based solar cell

机译：毛状碳纤维太阳能电池
- 作者：Wenjun Xu;Seungkeun Choi;Allen M.G.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
49.Measurement of the impact stress in a golf club head

机译：测量高尔夫球杆头中的冲击应力
- 作者：Hasegawa A.;Nakai A.;Iwase E.;Matsumoto K.;Shimoyama I.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
50.Piezoresistive CMOS sensor for the localized measurement of five independent stress components

机译：压阻CMOS传感器，用于五个独立应力分量的局部测量
- 作者：Lemke B.;Baskaran R.;Paul O.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
51.Optical and surface properties of morphology-controlled sub-20 nm polymer nanotipsanopores

机译：形态可控的20 nm以下聚合物纳米尖端/纳米孔的光学和表面性质
- 作者：Chien-Chong Hong;Pin Huang;Jiann Shieh
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
52.Photo-response compensated piezoresistive cantilever for use in fluorescence microscopy

机译：光响应补偿压阻悬臂，用于荧光显微镜
- 作者：Jung U.;Kuwana K.;Takahashi H.;Kan T.;Takei Y.;Noda K.;Iwase E.;Matsumoto K.;Shimoyama I.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
53.Thermoelectric behavior of microchannel plates fabricated by photo-assisted electrochemical etching

机译：光辅助电化学刻蚀制备的微通道板的热电行为
- 作者：Li Sun;Fengjuan Miao;Lianwei Wang;Chu P.K.;Sarro P.M.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
54.Evaluation of the piezoresistive and electrical properties of polycrystalline silicon-germanium for MEMS sensor applications

机译：评估MEMS传感器中多晶硅锗的压阻和电性能
- 作者：Gonzalez P.;Haspeslagh L.;De Meyer K.;Witvrouw A.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
55.Factors affecting degradation of sputtered iridium oxide used for neuroprosthetic applications

机译：影响用于神经修复应用的溅射氧化铱降解的因素
- 作者：Negi S.;Bhandari R.;Van Wagenen R.;Solzbacher F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
56.LPCVD amorphous SiCx for freestanding electron transparent windows

机译：用于独立电子透明窗的LPCVD非晶SiC x
- 作者：Morana B.;Creemer J.F.;Santagata F.;Fan C.-C.;Pham H.T.M.;Pandraud G.;Tichelaar F.D.;Sarro P.M.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
57.Characterization of liquid-metal Galinstan® for droplet applications

机译：用于液滴应用的液态金属Galinstan®的表征
- 作者：Tingyi Liu;Sen P.;Chang-Jin Kim
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
58.Piezocapacitive effect of a sandwich structure in a microfabricated cantilever

机译：微型悬臂中夹层结构的压电电容效应
- 作者：Jian-Qiu Huang;Qing-An Huang;Ming Qin
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
59.12° design rule for single crystal silicon curved beam compliant mechanisms with large deformation

机译：大变形单晶硅弯曲梁柔顺机构的12°设计准则
- 作者：Tzung-Ming Chen;Krausse S.;Korvink J.G.;Wallrabe U.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
60.Measurement of elastic tension of Parylene films deposited on liquid

机译：沉积在液体上的聚对二甲苯薄膜的弹性张力的测量
- 作者：Nguyen Binh-khiem;Matsumoto K.;Shimoyama I.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
61.Thermal and topological characterization of Au, Ru and Au/Ru based MEMS contacts using nanoindenter

机译：使用纳米压头对基于Au，Ru和Au / Ru的MEMS触点进行热和拓扑表征
- 作者：Broue A.;Dhennin J.;Courtade F.;Charvet P.-L.;Pons P.;Lafontan X.;Plana R.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
62.Stress relaxation study of sputtered Platinum thin films at near room temperature using an ultrasensitive strain gauge

机译：使用超灵敏应变仪在室温下溅射铂薄膜的应力松弛研究
- 作者：Yu Qiao Qu;Melamud R.;Chandorkar S.;Hyung Kyu Lee;Kenny T.W.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
- MEMS resonator;
- creep;
- platinum;
- residual stress;
- strain sensor;
- stress relaxation;
- thin films;
63.3D integration of micro optical components on flexible transparent substrate with through-hole- vias

机译：具有通孔的柔性透明基板上的微光学组件的3D集成
- 作者：Hsiu-Ting Hsu;Wang-Shen Su;Chih-Chun Lee;Hsin-Yu Huang;Hung-Yi Lin;Weileun Fang
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
64.Theta-like specimen to determine tensile strength at the micro scale

机译：类θ样品，可在微尺度上确定抗张强度
- 作者：Gaither M.S.;DelRio F.W.;Gates R.S.;Fuller E.R.;Cook R.F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
65.ALD-enabled hermetic sealing for polymer-based wafer level packaging of MEMS

机译：支持ALD的气密密封，用于MEMS的基于聚合物的晶圆级封装
- 作者：Chingyi Lin;Yadong Zhang;Abdulagatov A.;Ronggui Yang;George S.;Lee Y.C.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
66.Parallel assembly of 01005 surface mount technology components with 100 yield

机译：并行组装01005表面贴装技术组件，成品率100％
- 作者：Ji Hoo;Lingley A.;Baskaran R.;Xiaorong Xiong;Bohringer K.F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
67.Drop-shock dynamic analysis of MEMS/package system

机译：MEMS /封装系统的跌落动态分析
- 作者：Chen Yang;Bin Zhang;Dajing Chen;Liwei Lin
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
68.Improved self-sealing liquid encapsulation in Parylene structures by integrated stackable annular-plate stiction valve

机译：集成的可堆叠环形板静力阀改善了聚对二甲苯结构中的自密封液体封装
- 作者：Gutierrez C.A.;Meng E.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
69.Influence of the novel anchor design on the shear strength of poly-sige thin film wafer level packages

机译：新型锚固件设计对多尺寸薄膜晶圆级封装抗剪强度的影响
- 作者：Claes G.;Severi S.;Van Hoof R.;Decoutere S.;Celis J.-P.;Witvrouw A.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
70.Versatile vacuum packaging for experimental study of resonant MEMS

机译：多功能真空封装，用于谐振MEMS的实验研究
- 作者：Schofield A.R.;Trusov A.A.;Shkel A.M.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
71.Fluidic self-assembly of millimeter scale thin parts on preprogrammed substrate at air-water interface

机译：空气-水界面上预编程基板上毫米级薄零件的流体自组装
- 作者：Kwang Soon Park;Xugang Xiong;Baskaran R.;Bohringer K.F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
72.Packaging of large and low-pitch size 2D ultrasonic transducer arrays

机译：大间距和低间距尺寸的2D超声换能器阵列的包装
- 作者：Der-Song Lin;Xuefeng Zhuang;Wodnicki R.;Woychik C.G.;Omer O.;Kupnik M.;Khuri-Yakub B.T.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
73.Micromachining of Pyrex7740 glass and their applications to wafer-level hermetic packaging of MEMS devices

机译：Pyrex7740玻璃的微加工及其在MEMS器件的晶圆级气密包装中的应用
- 作者：Junwen Liu;Qing-An Huang;Jintang Shang;Jing Song;Jieying Tang
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
74.A novel vertical solder pump structure for through-wafer interconnects

机译：用于晶圆互连的新型立式焊锡泵结构
- 作者：Jiebin Gu;Pike W.T.;Karl W.J.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
75.Combined MEMS inertial sensors for IMU applications

机译：用于IMU应用的组合式MEMS惯性传感器
- 作者：Merz P.;Reimer K.;Weiss M.;Schwarzelbach O.;Schroder C.;Giambastiani A.;Rocchi A.;Heller M.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
76.AUSN solder vacuum packaging using melted solder floodgates and laser-activated non-evaporable getters for SIC diaphragm anticorrosive vacuum sensors

机译：AUSN焊料真空包装，使用熔化的焊料闸门和激光激活的非蒸发吸气剂，用于SIC隔膜防腐真空传感器
- 作者：Tanaka S.;Honjoya Y.;Esashi M.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
77.Low-cost through silicon vias (TSVs) with wire-bonded metal cores and low capacitive substrate-coupling

机译：带有引线键合金属芯和低电容性基板耦合的低成本硅穿孔（TSV）
- 作者：Fischer A.C.;Roxhed N.;Stemme G.;Niklaus F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
78.Novel method for the assembly and electrical contacting of out-of-plane microstructures

机译：平面外微结构的组装和电接触的新方法
- 作者：Kisban S.;Holzhammer T.;Herwik S.;Paul O.;Ruther P.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
79.Selective electroless nickel plating on oxygen-plasma-activated gold seed-layers for the fabrication of low contact resistance vias and microstructures

机译：在氧等离子体激活的金晶种层上进行选择性化学镀镍，以制造低接触电阻的通孔和微结构
- 作者：Fischer A.C.;Lapisa M.;Roxhed N.;Stemme G.;Niklaus F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
80.Agent-based modeling of mems fluidic self-assembly

机译：基于代理的记忆流体自组装建模
- 作者：Mastrangeli M.;Van Hoof C.;Baskaran R.;Celis J.-P.;Bohringer K.F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
81.Backgate bias and stress level impact on giant piezoresistance effect in thin silicon films and nanowires

机译：背栅偏压和应力水平对薄膜和纳米线中巨大的压阻效应的影响
- 作者：Passi V.;Ravaux F.;Dubois E.;Raskin J.-P.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
82.Thermal management of vertical gallium nitride nanowire arrays: Cooling design and tip temperature measurement

机译：垂直氮化镓纳米线阵列的热管理：冷却设计和尖端温度测量
- 作者：Jen-Hau Cheng;Seghete D.;George S.M.;Ronggui Yang;Lee Y.C.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
83.Titanium nitride sidewall stringer process for lateral nanoelectromechanical relays

机译：用于横向纳米机电继电器的氮化钛侧壁纵梁工艺
- 作者：Lee D.;Lee W.S.;Provine J.;Lee J.-O.;Yoon J.-B.;Howe R.T.;Mitra S.;Wong H.-S.P.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
84.Multilayer microcantilever heater-thermometer with improved thermal resistance for nanotopography measurements

机译：具有改善的热阻的多层微悬臂式加热器-温度计，用于纳米形貌测量
- 作者：Zhenting Dai;Corbin E.A.;King W.P.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
85.Optimal seed planting for growth-regulated nanomanufacturing

机译：生长受控的纳米制造的最佳种子种植
- 作者：Abbasi S.;Kitayaporn S.;Schwartz D.T.;Bohringer K.F.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
86.Mechanosynthesis of three-dimensional replicated nanostructures by nanolithography-based molecular manipulation

机译：通过基于纳米平版印刷的分子操作机械合成三维复制的纳米结构
- 作者：Zhan Liu;Naik N.;Bucknall D.G.;Allen M.G.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
87.A novel resonant accelerometer based on nanoelectromechanical oscillator

机译：基于纳米机电振荡器的新型共振加速度计
- 作者：Rong Zhu;Guoping Zhang;Guowei Chen
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
88.Controllable assembly of the Au nanowire in microano structure by templateless electro-deposition

机译：通过无模板电沉积可控制地组装金纳米线的微米/纳米结构
- 作者：Xing Yang;Zhaoying Zhou;Min Zhang;Xiaoli Liu;Qiang Zhong
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
89.Carbon nanotube self-assembeled high frequency resonator

机译：碳纳米管自组装高频谐振器
- 作者：Yaakobovitz A.;Karp G.;David-Pur M.;Krylov S.;Hanein Y.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
90.Evaluation of piezoresistace coefficients of silico first-priciples band structures

机译：硅第一性原理和结构的压阻系数评估
- 作者：Nakamura K.;Toriyama T.;Sugiyama S.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
91.Atomic layer deposition (ALD) tungsten nano-electromechanical transistors

机译：原子层沉积（ALD）钨纳米机电晶体管
- 作者：Davidson B.D.;George S.M.;Bright V.M.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
92.Force sensor based on metal nanoparticle

机译：基于金属纳米粒子的力传感器
- 作者：Koyama A.;Kan T.;Iwase E.;Matsumoto K.;Shimoyama I.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
93.Polycarbosilane-derived silicon carbide MEMS component fabricated by slip casting with SU8 micro mold

机译：通过SU8微模具的滑模铸造制造的聚碳硅烷衍生的碳化硅MEMS组件
- 作者：Ishikawa T.;Namazu T.;Yoshiki K.;Inoue S.;Hasegawa Y.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
94.Surface microfluidics fabricated by superhydrophobic nanocomposite photoresist

机译：超疏水纳米复合光致抗蚀剂制备的表面微流体
- 作者：Lingfei Hong;Tingrui Pan
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
95.Parylene stiction

机译：聚对二甲苯粘滞
- 作者：Feiqiao Yu;Lin J.C.-H.;Po-Jui Chen;Yu-Chong Tai
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
96.Thick epoxy resist sheets for MEMS manufactuing and packaging

机译：用于MEMS制造和包装的厚环氧抗蚀剂片
- 作者：Johnson D.;Voigt A.;Ahrens G.;Wen Dai
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
97.Hybrid fabrication of microfluidic chips based on COC, silicon and TMMF dry resist

机译：基于COC，硅和TMMF干抗蚀剂的微流控芯片的混合制造
- 作者：Kalkandjiev K.;Zengerle R.;Koltay P.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
98.Quantitative analysis of biodegradable polymers (PLLA on6; PCL) thermal bonding

机译：可生物降解的聚合物（PLLA on6; PCL）热键合的定量分析
- 作者：Boutry C.M.;Kiran R.;Umbrecht F.;Hierold C.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
99.New photoresist coating method for high topography surfaces

机译：用于高形貌表面的新的光刻胶涂层方法
- 作者：Zandi K.;Ying Zhao;Schneider J.;Peter Y-A.
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年
100.PDMS bonding to organically-modified solid surface using photocatalyst for fabricating low-cost plastic microchip

机译：使用光催化剂将PDMS粘结到有机改性的固体表面上，从而制造低成本的塑料微芯片
- 作者：Kyu-Youn Hwang;Joon-Ho Kim;Kahp-Yang Suh;Jong-Soo Ko;Nam Huh
- 会议名称：《Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010》 | 2010年