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Conference on micromachined devices and components

召开年：1998
召开地：Santa Clara, CA(US)
出版时间：-

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1.Fish-bone-structured acoustic sensor toward silicon cochlear systems

机译：鱼骨结构的声学传感器朝向硅耳蜗系统
- 作者：Muneo Harada;Naoki Ikeuchi;Shoichi Fukui;Shigeru Ando
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
2.Thin film front protection of CMOS wafers against KOH

机译：CMOS晶片对KOH的薄膜前保护
- 作者：Ulrich Munch;Niklaus Schneeberger;Oliver Paul;Henry Baltes;Elko Doering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
3.Simultaneous fabrication of dielectric and electric joints by wafer bonding

机译：通过晶片键合同时制造电介质和电动接头
- 作者：Andreas Drost;Gerhard Klink;Sabine Scherbaum;Michael Feil
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
4.Stress analysis for the optimization of a new plastic package for optical sensors

机译：用于优化光学传感器新型塑料包装的应力分析
- 作者：Carmen V. Cotofana;Andre Bossche;J.R. Mollinger;P.Kaldenberg
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
5.Fabrication of micromachined microwave couplers by CMOS process

机译：CMOS工艺的微机械微波耦合器的制造
- 作者：Chienliu Chang;Jinhong Chio;Kaihsiang Yen;Peizen Chang;Sheyshi Lu
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
6.Comparison between an optical and a capacitive transducer for a novel multiaxial bulk-micromachined accelerometer

机译：用于新型多轴散装 - 微机械加速度计的光学和电容式换能器之间的比较
- 作者：Gerold Schroepfer;Michel de Labachelerie
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
7.MEMS actuators based on smart film materials

机译：基于智能胶片材料的MEMS执行器
- 作者：Eckhard Quandt
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
8.Chemical imaging sensor for observation of microscopic pH distribution

机译：用于观察微观pH分布的化学成像传感器
- 作者：Motoi Nakao;Satoshi Nomura;Shuji Takamatsu;Katsuhiko Tomita;Tatsuo Yoshinobu;Hiroshi Iwasaki
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
9.Performance of MEMS-based gas distribution and control systems for semiconductor processing

机译：基于MEMS的气体分配和用于半导体处理的控制系统的性能
- 作者：Albert K. Henning;John Fitch;James M. Harris;Errol B. Arkilic;Brad Cozad;Ben Dehan
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
10.Wafer bonding with an adhesive coating

机译：用粘合剂涂层粘合
- 作者：Gerhard Klink;Bernhard Hillerich
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
11.Technological modules for on-chip integration of sensors with electronics

机译：具有电子器件的片上集成的技术模块
- 作者：A.Goetz;Carles Cane
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
12.Three-dimensional active microcatheter combining shape memory alloy actuators and direct-drive tubular electrostatic micromotors

机译：三维活性微导管组合形状记忆合金致动器和直驱管静电微电子
- 作者：Gilles Bourbon;Patrice Minotti;Philippe Langlet;Takahisa Masuzawa;Hiroyuki Fujita
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
13.CMOS resonant sensors

机译：CMOS共振传感器
- 作者：Oliver Brand;Mark Hornung;Dirk Lange;Henry Baltes
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
14.Micromachining technologies for miniaturized communication devices

机译：小型通信设备的微机械线技术
- 作者：Clark T. Nguyen
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
15.Microassembly technologies for MEMS

机译：MEMS的微包装技术
- 作者：Michael B. Cohn;Karl F. Boehringer;J. Mark Noworolski;Angad Singh;Chris G. Keller;Kenneth Y. Goldberg;Roger T. Howe
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
16.MEMS control moment gyroscope design and wafer-based spacecraft chassis study

机译：MEMS控制力矩陀螺仪设计与基于晶圆的宇宙飞机底盘研究
- 作者：Joel Reiter;Karl F. Boehringer;Mark Campbell
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
17.Micro pressure sensor with submillimeter size by silicon bulk micromachining

机译：微压力传感器，具有硅散装微机器的亚麻尺寸
- 作者：Lung Jieh Yang;Yih-Min Chang
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
18.Polysilicon xylophone bar magnetometers

机译：多晶硅木琴棒磁力计
- 作者：Dennis K. Wickenden;John L. Champion;Robert B. Givens;Thomas J. Kistenmacher;James L. Lamb;Robert Osiander
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
19.New fabrication method for high-Q on-chip spiral inductor

机译：高Q片式螺旋电感的新制造方法
- 作者：Hongrui Jiang;Jer-Liang A. Yeh;Norman C. Tien
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
20.Micromachined flame ionization detector and flame spectrometer

机译：微机械火焰电离检测器和火焰光谱仪
- 作者：Stefan Zimmermann;S.Wischhusen;Joerg Mueller
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
21.Material-related effects on wet chemical micromachining of smart MEMS devices

机译：对智能MEMS器件湿化学微机械线的材料相关效果
- 作者：Aylin Hein;Stefan Finkbeiner;J.Marek;Ernst Obermeier
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
22.Critical comparison of design- and analysis-of-experiments methods for MEMS metamodel generation

机译：MEMS元模型生成的设计和实验分析方法的危急比较
- 作者：Selden B. Crary;Peter Cousseau;Eva H. Mok;David M. Woodcock;Philippe Renaud
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
23.Pressure and flow sensor for use in catheters

机译：用于导管的压力和流量传感器
- 作者：Hans Goosen;Patrick J. French;Pasqualina M. Sarro
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
24.Development of novel piezoresistive sensor

机译：开发新型压阻传感器
- 作者：Zhongshen Lin;Weileun Fang
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
25.Acceleration sensitivity of micromachined pressure sensors

机译：微机械压力传感器的加速灵敏度
- 作者：Richard August;Theresa Maudie;Todd F. Miller;Erik Thompson
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
26.Analysis of noise and fluctuations in micromachined devices

机译：微机械设备噪声分析和波动
- 作者：Andreas Greiner;Jan G. Korvink
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
27.Development of silicon accelerometers using epi-micromachining

机译：使用EPI-MicroChiNing开发硅加速度计
- 作者：Paul T. Gennissen;Patrick J. French
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
28.Wireless surface-acoustic-wave-based humidity sensor

机译：无线表面声波湿度传感器
- 作者：Richard D. Hollinger;Anikumar R. Tellakula;C.-T. Li;Vasundara V. Varadan;Vijay K. Varadan
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
29.Static and dynamic characterization of polysilicon surface-micromachined actuators

机译：多晶硅表面微机械致动器的静态和动态特征
- 作者：Volker Laible;Paul M. Hagelin;Olav Solgaard;Ernst Obermeier
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
30.Single-crystal silicon gyroscope with decoupled drive and sense

机译：单晶硅陀螺带去耦和感觉
- 作者：Scott G. Adams;James Groves;Kevin A. Shaw;Timothy J. Davis;Dan Cardarelli;Raymond Carroll;Joseph G. Walsh;Mark D. Fontanella
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
31.Performance analysis of a planar vibrating microgyroscope using a dynamic model with respect to angular rate frequency

机译：使用动态模型相对于角速率频率的平面振动微仪的性能分析
- 作者：Yoon S. Hong;Jong-Hyun Lee;Soo Hyun Kim
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
32.Advances in MEMS using SFB and DRIE technology

机译：使用SFB和DRIE技术的MEMS进步
- 作者：Bert P. Van Drieenhuizen
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
33.Programmable micro accelerometers and gyroscopes

机译：可编程微加速度计和陀螺仪
- 作者：Vijay K. Varadan;Vasundara V. Varadan
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
34.Microelectromechanical high-density energy storage/rapid release system

机译：微机电高密度储能/快速释放系统
- 作者：M. Steven Rodgers;James J. Allen;Kent D. Meeks;Brian D. Jensen;Samuel L. Miller
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
35.Production-ready silicon microvalve

机译：生产准备好硅片微型阀
- 作者：Tak K. Wang;Phillip W. Barth;Rod Alley;James Baker;David Yates;Leslie A. Field;Gary Gordon;Christopher C. Beatty;Lori Tully
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
36.MEMS millimeter-wave transceiver architectures

机译：MEMS毫米波收发器架构
- 作者：Jung-Chih Chiao;Debabani Choudhury
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
37.MEMS fixtures for handling and assembly of microparts

机译：MEMS用于处理和组装MICROPARTS的灯具
- 作者：Isam N. Tahhan;Yan Zhuang;Karl F. Boehringer;Kristofer S. Pister;Kenneth Y. Goldberg
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
38.Parallel-plate electrostatic dual-mass resonator

机译：平行板静电双质量谐振器
- 作者：Christopher W. Dyck;James J. Allen;Robert J. Huber
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
39.Additive electroplating technology as a new integration concept for MEMS

机译：添加剂电镀技术作为MEMS的新集成概念
- 作者：Josef Binder;Wolfgang Benecke
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
40.Polymers: an excellent and increasingly used material for microsystems

机译：聚合物：微系统的优异且越来越多的材料
- 作者：Peter Bley
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
41.Prospective applications of MEMS in wireless communications

机译：MEMS在无线通信中的预期应用
- 作者：Hector J.De Los Santos;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- RF;
- microwaves;
- microelectromechanical;
- MEMS;
- passive components;
- switches;
- wireless;
- internet;
42.From Research to Product: the CMOS MEMS Case

机译：从研究到产品：CMOS MEMS案例
- 作者：Henry Baltes;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- technology transfer;
- innovation;
- microsystems;
- microtransducers;
43.A rapid micro-PCR system for hepatitis C virus amplification

机译：一种用于丙型肝炎病毒扩增的快速微型PCR系统
- 作者：Yu-Cheng Lin;Ming-Yuan Huang;Kung-Chia Young;Ting-Tsung Chang;Ching-Yi Wu;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- KNA;
- PCR chip;
- MEMS;
- HCV;
44.Dual beam-mass structure gyroscope micromachined by deep RIE process

机译：双梁 - 质量结构陀螺微加工过程
- 作者：Heng Yang;Minhang Bao;Hao Yin;Shaoqun Shen;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- gyrsocope;
- angular rate sensor;
- siliocn bulk micromachining;
- DRIE;
- piezoresistive sensing;
45.AirJet paper mover: An example of meso-scale MEMS

机译：气流纸张移动器：中间尺度MEMS的一个例子
- 作者：David Biegelsen;Andrew Berlin;patrick Cheung;Markus Fromherz;David Goldberg;Warren Jackson;Bryan Preas;James Reich;Lars Swartz;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- air jets;
- printed circuit board;
- fabrication;
- electrostatic valves;
- large scale;
- systems;
46.Micro-resonator modified as magnetic sensor

机译：微谐振器改性为磁传感器
- 作者：S.G. Lokhre;P.R. Apte;R. Raajeev;R. Lal;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- micromachines;
- MEMS;
- magnetic sensor;
- resonators;
- smart sensor;
47.Air Jet paper mover: An example of meso-scale MEMS

机译：空气喷射纸移动器：中间尺度MEMS的一个例子
- 作者：David Riegelsen;Andrew Berlin;Patrick Cheung;Markus Fromherz;David Goldberg;Warren Jackson;Bryan Preas;James Reich;Lars Swartz
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- Air jets;
- Printed circuit board;
- Fabrication;
- Electrostatic valves;
- Large scale;
- Systems;
48.Novel Technique of Thin Photoresist MIcromachining For Submillimeter Wave Circuits

机译：倍数倍波电路薄光致抗蚀剂微机械的新技术
- 作者：W.Y. Liu;A. Harkar;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- microfabrication;
- submillimeter wave waveguides;
- SU-8;
49.MEMS Device for Mass Market Gas and Cheical Sensors

机译：MEMS设备用于大众市场气体和化学传感器
- 作者：Brian R. Kinkade;James T. Daly;Edward A. Johnson;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- MEMS;
- non-dispersive infrared;
- NDIR;
- photonic band gap;
- gas sensors;
- indoor air quality;
- toxic gas detection;
50.A planar latch-up microactuator driven by thermoelastic force

机译：由热弹力驱动的平面闩锁微致动力器
- 作者：Jong Hyun Lee;Myung Lae Lee;Won Ick Jang;Chang Auck Choi;Youn Tae Kim;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- microactuator;
- thermoelastic;
- latch-up;
- surface micromachining;
- optical;
- optical switch;
51.A large deflection of out-of-plane magnetic actuators using surface micromachining

机译：使用表面微机器的平面外磁力执行器的大偏转
- 作者：J.M. Huang;K.M. Liew;A.Q. Liu;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
52.Development of silicon ultrasonic transducer using micromachining

机译：使用微机械开发硅超声换能器
- 作者：G. Caliano;F. Galanello;V. Foglietti;E. Cianci;A. Caronti;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- capacitive;
- micromachined;
- ultrasonic;
- transducer;
- cMUT;
53.Deep cavity-shaped disphragm for Enhancement of microphone mechanical sensitivity

机译：深腔形隔膜，用于提高麦克风机械敏感性
- 作者：Xinxin Li;Rongming Lin;Huatsoon Kek;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- microphone;
- mechanical sensitivity;
- residue stress;
- corrugated diaphragm;
- micro-machning;
54.High Frequency of Micromechanical Resonator via Structural Modification

机译：通过结构改造的微机械谐振器的高频
- 作者：Y.C. Loke;Q. Zou;K.M. Liew;A.Q. Liu;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- MEMS;
- oscillator;
- RF transceiver and wireless communication;
55.Optimization of surface micromachined patch antenna

机译：表面微机械贴片天线的优化
- 作者：S. Wong;B.L. Ooi;P.S. Kooi;T.H. Ng;A.Q. Liu;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- MEMS;
- polysilicon surface micromachining process;
- micromachined antenna and microwave antenna;
56.Spiral Wound Transducer

机译：螺旋缠绕传感器
- 作者：P.C. Elliott;S.M. Bobbio;M.A. Pennington;S.W. Smith;J. Zara;J. Hudak;J. Pagan;B.J. Rouse;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- artificial muscle;
- synthetic muscle;
- foce array;
- integrated force array;
- MEMS actuator;
57.Bulk Micromachining for Senhsors and Actuators

机译：传感器和执行器的散装微机械
- 作者：Masayoshi Esashi;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
58.Nano-spring arrays for high density interconnect

机译：高密度互连的纳米弹簧阵列
- 作者：David K. Fork;Christopher Chua;Patrick Kim;Linda Romano;Joe Haemer;Mitul Modi;Qi Zhu;Dennis Ma;Suresh Sitaraman;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- interconnects;
- packaging;
- probing;
- sputtering;
- thin film;
- stress;
59.Investigation of thermopile using CMOS compatible process and front-side Si bulk etching

机译：使用CMOS兼容过程和前侧Si散蚀的热电堆
- 作者：Chen-Hsun Du;CHengkuo Lee;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- thermopile;
- thermal sensors;
- microsystems;
60.Theoretical and Experimental Characterization of the In-Plane Fip Force and Deflection Achieved with A sysmmetrical Polysilicon Electrothermal Microactuators

机译：用SYSMMETMETRICE多晶硅电热微致动器实现平面内纤维力和偏转的理论和实验表征
- 作者：P.B. Allen;N.C. Boydston;J.T. Howard;S.Y. Ko;E.S. Kolesar;M.D. Ruff;J.M. Wilken;R.J. Wilks;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- microelectromechanical systems;
- MEMS;
- asymmetrical electrothermal microactuator;
61.Low-power micromachined structures for gas sensors with improved robustness

机译：用于气体传感器的低功率微机械结构，具有改善的鲁棒性
- 作者：I. Gracia;A. Gotz;J.A. Plaza;C. Cane;P. Roetsch;H. Bottner;K. Seibert;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- gas sensors;
- micro-hotplates;
- anodic bonding;
- robustness;
62.High force 10 kN piezoresistive silicon force sensor with output i dependent of force distribution

机译：高力10KN压阻性硅力传感器，输出I依赖于力分布
- 作者：R.A.F. Zwijze;R.J. Wiregerink;G.J.M. Krijinen;J.W. Berenschot;M.J.de Boer;M.C. Elwenspoek;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- silicon load cell;
- silicon force sensor;
- creep;
- hysteresis;
63.Micromechanical detectors for ferromagnetic resonance spectroscopy

机译：用于铁磁共振光谱的微机械探测器
- 作者：John Moreland;Pavel Kabos;Albrencht Jander;Markus Lohndorf;Robert McMichael;Chan-Gyu Lee;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
64.Microsystems for Diverse Applications using Recently Developed Microfabrication Techniques

机译：最近开发的微制造技术的多种应用的微系统
- 作者：Laurent Dellmann;Teronobu Akiyamam;Danick Briand;Sebastien Gautsch;Olivier Guuenat;Benedikt Guldimann;Philippe Luginbuhl;Cornel Marxer;Urs Staufer;Bart van der Schoot;Nico F.de Rooij;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
65.Review of Viscous Damping in Micro-Machined Structures

机译：微机械结构中粘性阻尼的回顾
- 作者：Gary Li;Henry Hughen;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
66.Towards Thermal Flowsensing With pL/s Resolution

机译：通过PL / S分辨率热浮滤
- 作者：N.R. Tas;T.S.J. Lammerink;P.J. Leussink;J.W. Berenschot;H.E.de Bree;M. Elwenspoek;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- thermal flow sensors;
- anemometry;
- calorimetirc flow sensors;
67.Micro-electro-optical devices in a five-level polysilicon surface-micromachining technology

机译：在五层多晶硅表面微机械线技术中的微电光器件
- 作者：James H. Smith;M. Steven Rodgers;Jeffry J. Sniegowski;Samuel L. Miller;Dale L. Hetherington;Paul J. McWhorter;Mial E. Warren
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
68.Self-aligned polysilicon MEMS-reduced mask count surface micromachining

机译：自对准多晶硅MEMS减少掩模计数表面微机械线
- 作者：J. Mark Noworolski;Seth R. Sanders
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
69.Microresonant devices for power conversion

机译：用于电源转换的微谐振装置
- 作者：J. Mark Noworolski;Seth R. Sanders
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1998年
70.Novel thin film solid-oxide fuel cell for microscale energy conversion

机译：用于微观能量转换的新型薄膜固体氧化物燃料电池
- 作者：Jeffrey D. Morse;Alan F. Jankowski;Jeffrey P. Hayes;Robert T. Graff
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
71.Linear arrays of uncoolded poly SiGe microbolometers for IR detection

机译：用于红外检测的未燃烧聚光SiGe微压计的线性阵列
- 作者：Piet De Moor;Sherif Sedky;Deniz Sabuncuoglu;Chris A. Van Hoof
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
72.Bistable planar polysilicon microactuator with shallow arch-shaped leaf springs

机译：浅拱形叶簧的双稳态平面多晶硅微致动器
- 作者：Jong-Hyun Lee;Myung-Hyun Lee;WonIck Jang;Chang A. Choi;Jin W. Joo
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 1999年
73.MEMS/MOEMS for Lightwave Networks: Can Little Machiness Make it Big?

机译：LightWave网络的MEMS / MOEMS：很少的机器可以让它变大吗？
- 作者：Dave Bishop;Vladimir Aksyuk;Cris Bolle;Randy Giles;Flavio Pardo;Jim Walker;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
74.Wafer level Surface Mountable Chip Size Packaging for MEMS and ICs

机译：MEMS和IC的晶片级表面可安装芯片尺寸包装
- 作者：Stephane Renard;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- MEMS;
- packaging;
- wafer level;
- SMT;
- chip size packaging;
- accelerometer;
- IC;
75.New Fabrication Technique For High Dynamic Range Tunneling Sensors

机译：高动态范围隧道传感器的新制造技术
- 作者：D.T. Chang;F.P. Stratton;R.L. Kubena;D.J. Vickers-Kirby;R.J. Joyce;T. Schimert;R.W. Gooch;SPIE-The International Society for Optical Engineering
- 会议名称：《Conference on micromachined devices and components》 | 2000年
- tuneling sensors;
- surface micromachining;
- surface-mount eletronics;
- wafer-level packaging;