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マイクロマシン·センサシステム研究会
マイクロマシン·センサシステム研究会
召开年:
2020
召开地:
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-
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1.
磁気共鳴を用いたラジカルセンシングのための磁気センサ
机译:
磁性传感器,用于利用磁共振进行自由基检测
作者:
椎名 司
;
戸田 雅也
;
小野 崇人
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
磁気共鳴;
フリーラジカル;
磁気センサ;
2.
ピエゾ抵抗素子を用いた引張応力測定機構を有するナノスケール引張試験デバィスの作製
机译:
利用压阻元件制造具有拉伸应力测量机构的纳米级拉伸试验装置
作者:
田中 秀悟
;
安藤 妙子
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
ナノスケール;
シリコン;
引張応力;
ピエゾ抵抗素子;
試験デバイス;
材料;
3.
円筒面上の厚膜レジストの低温リソグラフィとNi電鋳を用いた能動カテーテル骨格部の一括形成
机译:
使用圆柱形表面厚膜抗蚀剂的低温光刻和镍电铸来批量形成主动导管骨架
作者:
Nur Shauqil Amin bin Muhamad Sanuzi
;
峯田 貴
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
円筒リソグラフィ;
SU-8;
Ni電気めつき;
一括形成;
能動カテーテル;
4.
Cuパターンのフェムト秒レーザ還元描画とナノ秒レーザによる酸化膜形成
机译:
飞秒激光还原铜图案和纳秒激光形成氧化膜
作者:
吉冨 恭平
;
中村 奨
;
溝尻 瑞枝
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
フェムト秒レーザ還元;
熱還元;
直接描画;
表面酸化処理;
Cu配線;
CuOナノ粒子ペースト;
5.
単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討
机译:
单金称重三轴加速度传感器分体电容检测双电极的研究
作者:
巿川 崇志
;
古賀 達也
;
石原 昇
;
町田 克之
;
益 一哉
;
伊藤 浩之
;
飯田 慎一
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
MEMS;
加速度センサ;
分割容量検出方式;
Au錘;
高感度;
6.
土壌過渡応答特性を利用した土中水分量•イオン濃度計測用フィードバック型回路システムの開発
机译:
利用土壤瞬态响应特性的土壤水分•离子浓度测量反馈电路系统的开发
作者:
重桝 竜希
;
寺岡 佑起
;
大多 哲史
;
平野 陽豊
;
安富 啓太
;
川人 祥二
;
二川 雅登
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
精密農業;
土壌センサ;
水分量;
イオン濃度;
土壌過渡応答特性;
7.
Tactile Sensor Module with LSI-Diaphragm Flip-Chip Bonded to Printed Circuit Board
机译:
LSI-膜片倒装芯片粘结到印刷电路板上的触觉传感器模块
作者:
Xuanyi Wu
;
Hideki Hirano
;
Chenzhong Shao
;
Shuji Tanaka
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
Integrated tactile sensor;
MEMS;
Printed circuit board (PCB);
Chip-on-PCB integration;
Flip-chip bonding;
8.
小型化•低電圧化に向けた絶縁樹脂薄膜静電触覚ディスプレイの基礎検討
机译:
小型化•低压绝缘树脂薄膜静电触觉显示器的基础研究
作者:
佐藤 淳喜
;
本間 遼
;
安部 隆
;
寒川 雅之
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
触覚ディスプレイ;
静電気力;
摩擦力;
低電圧化;
小型化;
絶縁薄膜;
9.
SU-8基板接合を用いたSMA厚膜アクチユエータアレイ/個別通電用: TSV電極構造の触覚ディスプレイ素子の形成
机译:
SMA厚膜致动器阵列,使用SU-8基板粘接/用于单独通电:形成具有TSV电极结构的触觉显示元件
作者:
齋藤 涼
;
木村 友翼
;
徐 嘉楽
;
峯田 貴
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
触覚ディスプレイ;
SMA厚膜アクチュエータ;
TSV基板;
ダイオード;
SU-8接合;
10.
外付エレクトレツト型MEMSエナジーハーべスタの小型化の検討
机译:
外部驻极体型MEMS能量收集器的小型化检查
作者:
川島 康介
;
澤田 宗興
;
田村 健太郎
;
端山 航平
;
山根 大輔
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
触覚ディスプレイ;
SMA厚膜アクチュエータ;
TSV基板;
ダイオード;
SU-8接合;
11.
閾値自己補償整流昇圧回路による振動発電素子の実効帯域向上
机译:
阈值自补偿整流升压电路改善振动发电元件有效带
作者:
遠山 幸也
;
本間 浩章
;
年吉 洋
;
山根 大輔
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
振動発電素子;
整流昇圧回路;
広帯域化;
MEMS;
12.
接触界面に微細ビラミッド構造配列を有するトライボ発電デバィス
机译:
Tribo发电装置在接触界面处具有精细的Villamid结构阵列
作者:
柳田 幸祐
;
飯田 泰基
;
本間 浩章
;
橋口 原
;
年吉 洋
;
鈴木 孝明
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
TENG;
エネルギーハーベスティング;
3次元リソグラフィ;
微細構造;
摩擦帯電;
MEMS;
13.
低侵襲医療ツール用光干渉細径変位センサ
机译:
用于微创医疗工具的光干涉小直径位移传感器
作者:
矢谷 真樹生
;
李 相錫
;
松永 忠雄
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
低侵襲医療;
光学検出;
変位センサ;
医療ツール;
フアブリ·ペロー干渉計;
14.
背面光照射による表面プラズモン共鳴のためのMEMS回折格子構造
机译:
用于通过背光辐射进行表面等离子体共振的MEMS光栅结构
作者:
齋藤 祥基
;
菅 哲朗
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
表面プラズモン共鳴;
化学量センサ;
電流検出;
背面照射;
回折格子;
15.
液体金属を用いた電子部品実装における接触抵抗の経時変化計測
机译:
使用液态金属安装电子元件时,接触电阻随时间变化的测量
作者:
佐藤 峻
;
山岸 健人
;
橋本 道尚
;
岩瀬 英治
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
フレキシブル電子デバイス;
電子部品実装;
液体金属;
ガリンスタン;
接触抵抗;
合金化;
16.
撥水層付与による電気的液滴高さ制御の向上
机译:
通过添加疏水层改善电滴高度控制
作者:
玉寄 あすか
;
山田 竜大
;
小西 聡
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
液滴高さ制御;
EWOD;
濡れ性パターン;
撥水層表面;
表面張力;
17.
液体金属液滴の流路内移動操作性の向上
机译:
改进了在流动路径中移动液态金属液滴的可操作性
作者:
筧 悠吾
;
森 史成
;
小西 聡
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
液体金属液滴;
液滴操作;
マイクロ流体力学;
マイクロ流路;
圧力;
スリップ層;
18.
マイクロテクスチャ付き金型を利用した熱交換器フィン材への超撥水構造形成
机译:
微结构化模具在热交换器翅片材料上形成超疏水结构
作者:
藤田 聖也
;
佐々木 実
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
ロータス効果;
防霜;
熱交換フィン;
フォトリソグラフィ;
イオンミリング;
金型;
プレス加工;
19.
電子顕微鏡内での引張変形観察を目的としたマイクロデバイスの開発
机译:
用于在电子显微镜中观察拉伸变形的微型设备的开发
作者:
中田 健介
;
安藤 妙子
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
シリコン;
マイクロ;
変形;
引張荷重;
変位;
20.
環境試験チャンバ内におけるマイクロスケールシリコンの強度測定
机译:
环境测试室中微型硅强度测量
作者:
嶋村 健一郎
;
安藤妙子
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
マイクロスケール;
シリコン;
環境;
室温;
加熱環境;
光てこ;
21.
フォトリソグラフィ加工したプレス金型による高精度ロータリー金属スケールの試作
机译:
使用光刻工艺压制模具的高精度旋转金属秤的原型
作者:
山田 雄大
;
佐々木 実
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
3次元フォトリソグラフィ;
プレス加工;
ロータリーエンコーダ;
金型;
イオンミリング;
小型化;
22.
Electromagnetically Actuated Quartz Glass Ring Resonator for Mode Matched Gyroscope
机译:
电磁匹配模式陀螺仪用石英玻璃环形谐振器
作者:
Muhammad Jehanzeb Khan
;
Takashiro Tsukamoto
;
Muhammad Salman Al Farisi
;
Tanaka Shuji
会议名称:
《》
|
2020年
关键词:
Quartz glass;
Ring Resonator;
Electromagnetic actuation;
metal;
wineglass mode;
23.
Fabrication and Characterization of Surface Covering Structures with MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor toward Practical Robot Applications
机译:
MEMS-CMOS集成式触觉传感器的表面覆盖结构的制造和表征,面向实际机器人应用
作者:
Sumeyya Javaid
;
Chenzhong Shao
;
Hideki Hirano
;
Masanori Muroyama
;
Shuji Tanaka
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
CMOS-MEMS integrated tactile sensor;
3-axis tactile sensor;
covering material;
covering structure;
fabrication technology;
robot applications;
24.
MEMS触覚センサの温度変化による出力信号のドリフト特性の考察
机译:
考虑MEMS触觉传感器温度变化引起的输出信号漂移特性
作者:
河内 彪博
;
川田 智晴
;
岡田 一志
;
野間 春生
;
寒川 雅之
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
触覚センサ;
温度特性;
MEMS;
NiCr;
補正;
ドリフト;
25.
チタン製カンチレバーを用いた高耐久性MEMSフォースセンサのモデル作製と評価
机译:
使用钛悬臂的高度耐用MEMS力传感器的建模和评估
作者:
野澤 慎児
;
大塚 善久
;
寒川 雅之
;
安部 隆
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
チタンMEMS;
チタン;
フォースセンサ;
カンチレバー;
タフMEMS;
26.
1MHz空中超音波マイクロアレイセンサの開発
机译:
1MHz航空超声微阵列传感器的开发
作者:
田中 恒久
;
中山 健吾
;
村上 修ー
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2020年
关键词:
超音波センサ;
MEMS;
P(VDF/TrFE;
ダイアフラム;
薄膜;
共振周波数;
強誘電性;
意见反馈
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