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International Workshop on Microfactories
International Workshop on Microfactories
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1.
Fabrication and Mechanics Behaviors of a ultra-thin flexible polysilicon film
机译:
超薄柔性多晶硅膜的制造和力学行为
作者:
Qin Yuanzhen
;
Wang Peng
;
Ding Tianhuai
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
flexible polysilicon film;
polyimide;
mechanics behavior;
MEMS;
2.
A novel scanning micromirror for MEMS optical switch
机译:
用于MEMS光开关的新型扫描微镜
作者:
Fu hongqiao
;
Luo yuan
;
Zhang jie
;
Huang shanglian
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
MEMS;
scanning micromirror;
optical switch;
3.
RELEASE PROCESS EVALUATION OF MEMS STRUCTURES
机译:
MEMS结构的发布过程评估
作者:
Xuefeng He
;
Jing Fang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
4.
ON THE PERFORMANCE ADVANTAGES OF MICROSCALE MACHINE TOOLS
机译:
关于微观机床的性能优势
作者:
Hyung Wook Park
;
Steven Y. Liang
;
Wang Lin Liu
;
Shang-Bin Hsieh
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
5.
Microfactory cells for microforming and micromaterials testing
机译:
微焦虑细胞用于微细胞和微材料测试
作者:
Yasunori Saotome
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
6.
PROGRESS IN AGILE ASSEMBLY: MINIFACTORY COURIERS BASED ON FREE-ROAMING PLANAR MOTORS
机译:
敏捷大会进展:基于自由漫游平面电机的小型信使
作者:
T. B. Lauwers
;
Z. K. Edmondson
;
R. L. Hollis
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
7.
TOWARDS FULLY AUTOMATED MICROHANDLING
机译:
走向全自动微安
作者:
Sergej Fatikow
;
Axel Kortschack
;
Helge Hsen
;
Torsten Sievers
;
Thomas Wich
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
8.
STUDY OF SOME KEY PROBLEMS IN MICROMANIPULATION-ORIENTED REAL-TIME HUMAN-COMPUTER INTERACTIVE TELE-OPERATION
机译:
以微操纵为导向的实时人机交互式电信互动关键问题研究
作者:
Xu Zheng
;
Liu Chong
;
Wang Liding
;
Wang Song
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
micromanipulation system;
stereovision;
human-computer interaction;
9.
USING HOT EMBOSSING TO MASS-PRODUCE PDMS STAMPS
机译:
使用热压纹身批量生产PDMS邮票
作者:
Hong-Wen Sun
;
Jing-Quan Liu
;
Di Chen
;
Pan Gu
;
Jian-Hua Li
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
10.
SPUTTERED NITI THIN FILMS WITH HEATED SUBSTRATE FOR MEMS APPLICATIONS
机译:
具有加热基板的溅射的NITI薄膜,用于MEMS应用
作者:
Zhenyu YUAN
;
Dong XU
;
Zhican YE
;
Yushu Liu
;
Bingchu CAI
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
NiTi thin films;
shape memory alloy;
sputtering;
R-T curves;
microactuator;
11.
Handling Micro Objects by Adhesion Forces Using Gilt Probe
机译:
使用镀镀探针处理微对物体
作者:
Jianhua Wu
;
Jian Lu
;
Jiaru Chu
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
12.
PALMTOP SURFACE MOUNT SYSTEMS COMPOSED OF MOLDED PANTOGRAPH MECHANISMS WITH LARGE-DEFLECTIVE HINGES AND LINKS USING IN A ONE-ROOM FACTORY
机译:
Palmtop表面安装系统由模压映射机组成,具有大型铰接铰链和使用在一室厂的联系
作者:
Mikio Horie
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
13.
Micro manipulation by adhesion with two collaborating mobile micro robots
机译:
用两个合作移动微机器人的粘附微观操作
作者:
Walter Driesen
;
Thierry Varidel
;
Stephane Regnier
;
Jean-Marc Breguet
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
14.
A MULTI DEGREE OF FREEDOM MEASUREMENT SYSTEM FOR DETERMINING GEOMETRIC ERRORS IN A MINIATURI ZED MACHINE TOOL
机译:
用于确定Miniaturi ZED机床中的几何误差的多程度的自由度测量系统
作者:
Jae-Ha Lee
;
Yu Liu
;
Seung-Han Yang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
geometric error;
homogeneous transformation matrix;
multi-degree-of-freedom measurement;
miniaturized machine tool;
capacitance sensor;
15.
SACE IN MICROFACTORY
机译:
微焦点的SACE
作者:
K. Fujisaki
;
Ph. Couty
;
R. Wuethrich
;
L.A. Hof
;
H. Bleuler
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
16.
MICRO TURNING SYSTEM 3 (MTS3): A PRACTICAL CNC LATHE FOR MICROFACTORIES
机译:
微型转动系统3(MTS3):用于微压的实用CNC车床
作者:
Daisuke Iijima
;
Sumio Ito
;
Akira Hayashi
;
Hisayuki Aoyama
;
Masashi Yamanaka
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
17.
Design of calibration system of high-precise positioning table
机译:
高精度定位桌校准系统设计
作者:
Ge Yi-jun
;
Zhang Hai-tao
;
Cheng Wei-ming
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
high-precise positioning table;
laser interferometer;
error-analyzing and measuring;
calibration technology;
18.
Fabrication of a Hot Embossing Mould for PMMA Microfluidic Chip Using UV-LIGA Technique
机译:
使用UV-LIGA技术制造PMMA微流体芯片的热压花模具
作者:
Luo Yi
;
Chu Denan
;
Yu Tongmin
;
Lou Zhifeng
;
Liu Chong
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
19.
SURFACE AND BULK MIXED SILICON MICROMACHINING EMPLOYED IN MANUFACTURING A NOVEL TORSION-MIRROR MICROACTUATOR WITH COMPOUND ELECTROSTATIC DRIVING STRUCTURE
机译:
用复合静电驱动结构制造新型扭转镜微致动器的表面和散装混合硅微机械
作者:
W. G. Wu
;
Q. H. Chen
;
G. Z. Yan
;
Y. L. Hao
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
mixed silicon micromachining;
torsion-mirror;
microactuator;
compound electrostatic driving;
20.
Fabrication of a Mini Mechanical linear Acceleration Switch with Spiral Beam and Micro Electrode Tip
机译:
用螺旋梁和微电极尖端的迷你机械线性加速开关的制造
作者:
Chen Guang-yan
;
Wu Jia-li
;
ZhaoLong
;
Ding Yuan-ping
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
switch;
apparent acceleration;
spiral beam;
linear acceleration;
21.
MODELLING AND CONTROL OF A HIGHLY MODULAR MICROASSEMBLY SYSTEM
机译:
高模块化微型组装系统的建模与控制
作者:
Micky Rakotondrabe
;
Yassine Haddab
;
Philippe Lutz
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
22.
DEEP ETCHING OF MICROCHANNELS ON PYREX GLASS: EXPERIMENT DESIGN AND PARAMETER OPTIMIZATION
机译:
Pyrex玻璃上微通道的深蚀刻:实验设计和参数优化
作者:
Xuhan Dai
;
Xiaolin Zhao
;
Guifu Ding
;
Xiaoqiang Xie
;
Bingchu Cai
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
23.
NECESSARY LOAD FOR ROOM TEMPERATURE VACUUM SEALING
机译:
室温真空密封的必要载荷
作者:
Toshihiro Itoh
;
Tadatomo Suga
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
24.
IN THE WAY TO THE SECOND GENERATION OF MICROEQUIPMENT
机译:
在前往第二代微量机会的路上
作者:
L. Ruiz-Huerta
;
A. Caballero-Ruiz
;
G. Ascanio
;
T. Baidyk
;
E Kussul
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
25.
Three-Dimensional Microfabrication in a Doped PMMA Film Using Two-Photon Bleaching
机译:
使用双光子漂白剂掺杂PMMA膜中的三维微制造
作者:
Huohong Tang
;
Hui Xing
;
Bin Jiang
;
Yongjun Zhou
;
Wenhao Huang
;
Andong Xia
;
Fan Sun
;
Fushi Zhang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
26.
Research on Electromagnetic Field for Magnetic Levitation Precision Stage
机译:
磁悬浮精密阶段电磁场研究
作者:
WANG Yan-feng
;
He Hui-Yang
;
LU Zhi-Shan
;
SONG Wen-Rong
;
LI Shu-Gong
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
CAD/CAE;
magnetic levitation;
linear motor, photolithography;
finite element method (FEM);
electromagnetic field analysis;
27.
ADVANCED X-RAY LITHOGRAPHY SYSTEM FOR LIGA PROCESS USING ENERGY VARIABLE SYNCHROTRON RADIATION
机译:
使用能量变量同步辐射辐射的LIGA工艺先进的X射线光刻系统
作者:
Yuichi Utsumi
;
Takefumi Kishimoto
;
Tadashi Hattori
;
Hirotsugu Hara
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
28.
DEVELOMENT OF A DESK-TOP MILLING MACHINE WITH A 300 KRPM SPINDLE AND A LINEAR MOTOR STAGE
机译:
开发带300转/分的主轴和线性电机级的桌面铣床
作者:
Yuichi Okazaki
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
29.
Measurement of the development rate of irradiated PMMA in deep X-ray lithography
机译:
深X射线光刻中辐照PMMA的测量
作者:
Guo Yuhua
;
Liu Gang
;
Kan Ya
;
Tian Yangchao
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
LIGA;
crosslinked PMMA;
development rate;
GG-developer;
30.
A Study on Optimization of Miniature Machine Tool Design
机译:
微型机床设计优化研究
作者:
Nozomu Mishima
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
31.
New Method of Layer-to-layer Bonding Technology of PMMA
机译:
PMMA层到层粘接技术的新方法
作者:
Xuelin Zhu
;
Gang Liu
;
Yangchao Tian
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
32.
AMBIENT ENVIRONMENTAL EFFECTS IN MICRO/NANO HANDLING
机译:
微/纳米处理中的环境影响
作者:
Quan Zhou
;
Bo Chang
;
Heikki N. Koivo
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
33.
STUDY ON HIGH PRECISION ASPHERIC SURFACE MICROFABRICATION TECHNOLOGY
机译:
高精度球面微型制备技术研究
作者:
HUANG Hao
;
GUO Yin-biao
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
axisymmetric aspheric surface;
machining accuracy;
concave;
grinding wheel;
34.
A MICRO-FABRICATION TECHNOLOGY FOR ULTRA-THIN SILICON NEMS BEAMS
机译:
超薄硅网状梁的微制造技术
作者:
Haitao Yu
;
Heng Yang
;
Yuelin Wang
;
Xinxin Li
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
35.
PHYSICAL PRINCIPLES AND MINIATURIZATION OF SPARK ASSISTED CHEMICAL ENGRAVING (SACE)
机译:
火花辅助化学雕刻的物理原理和小型化(SACE)
作者:
L.A. Hof
;
R. Wuethrich
;
K. Fujisaki
;
H. Bleuler
;
Ph. Mandin
;
G. Picard
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
36.
A ground shielded low loss transmission line using Au-to-Au thermo compressive package
机译:
采用Au-to-Au热压缩封装的地面屏蔽低损耗传输线
作者:
Jiunnjye Tsaur
;
Takeshi Kobayashi
;
Ryutaro Maeda
;
Tadatomo Suga
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
37.
Study on the remote controlled micro-machined capsule
机译:
遥控微机胶囊研究
作者:
Jianguo Cui
;
Xiaolin Zheng
;
Yunlong Wei
;
Wensheng Hou
;
Chenglin Peng
;
Xitian Pi
;
Yang Liu
;
Hongying liu
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
38.
CONTROL OF PIEZOELECTRIC ACTUATORS CONNECTED IN TRIANGULAR SHAPE FOR A SMALL ROTARY STAGE
机译:
用三角形形状连接的压电致动器控制小旋转级
作者:
Akihiro TORII
;
Takuya KUSAKAWA
;
Kae DOKI
;
Akiteru UEDA
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
关键词:
miniature robot;
piezoelectric actuator;
39.
MECHANICAL CHARACTERIZATION OF MICRON-THICK UV LIGA NI FILMS USING XRD TENSILE TEST TECHNIQUE
机译:
XRD拉伸试验技术的微米厚UV Liga Ni膜的力学表征
作者:
Takahiro Namazu
;
Shozo Inoue
;
Keiichi Takemura
;
Masaaki Ishibuchi
;
Keiji Koterazawa
;
Yuichi Utsumi
;
Tadashi Hattori
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
40.
A MICROMANIPULATION CELL INCLUDING A MICROTOOLS CHANGER
机译:
包括微池更换器的微操纵单元
作者:
Cedric Clevy
;
Arnaud Hubert
;
Joel Agnus
;
Nicolas Chaillet
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
41.
A NOVEL METHOD TO MAKE COMPLEX THREE-DIMENSIONAL STRUCTURES
机译:
一种制作复杂三维结构的新方法
作者:
Ling-Han Li
;
Jing-Quan Liu
;
Hong-Wen Sun
;
Ya-Fei Zhang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
42.
The Loss of MEMS RF Component On Low-resistivity Silicon
机译:
低电阻率硅的MEMS RF分量的损失
作者:
Fangmin Guo
;
Yupin Ge
;
Ziqiang Zhu
;
Wei Lu
;
Zhongsheng Lai
;
Yaolin Wang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
关键词:
PS/OPS;
insertion loss;
MEMS;
RF switch;
CPW;
substrate;
43.
Common Design Rules Empirically Derived from Prototyping Microfactories for Various Functional Requirements
机译:
常见的设计规则源于原型介绍微贴力,用于各种功能要求
作者:
Masayuki Nakao
;
Kensuke Tsuchiya
;
Takeshi Ooi
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
44.
SILICON PILLARS DEVELOPMENT FOR THERMAL ISOLATION APPLICATIONS
机译:
热隔离应用的硅柱开发
作者:
Elena BERCA
;
Francois AVELLAN
;
Francois CANNEHAN
;
Philippe LANGLET
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
45.
High Precision Robotics System for Scanning Electron Microscopes
机译:
用于扫描电子显微镜的高精度机器人系统
作者:
S. Mazerolle
;
R. Rabe
;
S. Fahlbusch
;
J. Michler
;
J.-M. Breguet
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
46.
FABRICATION, MODELING AND CHARACTERIZATION OF ALUMINA MICRO RECIPROCATING ENGINE
机译:
氧化铝微往复式发动机的制造,建模与表征
作者:
Peng Jin
;
Kyle Jiang
;
Jiubin Tan
;
Dou Zhang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
47.
SURFACE ROUGHNESS STUDY BASED ON MICRO-END-MILLING WITH A MINIATURIZED MACHINE TOOL
机译:
基于微型机床的微终研磨的表面粗糙度研究
作者:
Wei Wang
;
Sung-Hwan Kweon
;
Seung-Han Yang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
关键词:
surface roughness;
micro-end-milling;
miniaturized machine tool;
experimental design;
response surface methodology;
48.
Development and Characteristic on the Desk-top 4-Axes Machine 'TRIDER-X' for Micro-fabrication
机译:
用于微制造的桌面4轴机器'Trider-X'的开发和特点
作者:
Weimin Lin
;
Hitoshi Ohmori
;
Yoshihiro Uehara
;
Muneaki Asami
;
Miyajiro Ohmori
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
49.
INNOVATIVE LOW TEMPERATURE BONDING TECHNOLOGIES FOR μ-DEVICE PACKAGING
机译:
用于μ器件包装的创新低温粘合技术
作者:
Rainer Pelzer
;
Viorel Dragoi
;
Shari Farrens
;
Paul Kettner
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
50.
AN INTEGRATED FEMTOSECOND LASER TWO-PHOTON MICROFABRICATION STATION
机译:
集成的飞秒激光双光子微制造站
作者:
Wenhao Huang
;
Anding Zhu
;
Yuxiang Liu
;
Zhongwei Jiang
;
Yongjun Zhou
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
51.
Optimization technology of RIE deep groove
机译:
RIE深沟优化技术
作者:
Zhengyuan Zhang
;
Shilu Xu
;
Yukui Liu
;
Guohua Shui
;
Guoyu Yang
;
Yong Liu
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
52.
The Integrated Fabrication System of Melt-drawn Fiber Tapers and Microsphere Resonators
机译:
熔喷纤维锥形和微球谐振器的综合制造系统
作者:
Lisa Liu
;
Lie Zhang
;
Chenchun Ye
;
Guobin Wen
;
Zhiping Cai
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
53.
PROCESS OF ELECTROLESS CU/NI PLATING ON SINGLE-CRYSTAL SILICON STRUCTURES OF MEMS
机译:
MEMS单晶硅结构的化学镀Cu / Ni电镀
作者:
Xiang Han
;
Yi Li
;
Wengang Wu
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
关键词:
electroless plating;
Cu/Ni and Ni/Cu compound films;
single-crystal silicon;
pretreatment;
activation;
MEMS;
54.
Research on Positioning Error Modeling by RBF Neural Networks in Precision Positioning System
机译:
RBF神经网络在精密定位系统中定位误差模拟研究
作者:
Li Mingming
;
Zhu Jianmin
;
Sun Linzhi
;
Gong Zhenbang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
precision positioning;
RBF neural networks;
error modeling;
over-fitting;
55.
CONSTRUCTION OF A SPECIAL SURFACE FOR POWER DELIVERY TO WIRELESS MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS OPERATING ON THE SAME PLATFORM
机译:
用于在同一平台上运行的无线微电机械系统的电力输送特殊表面
作者:
Sylvain Martel
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
56.
BURR MINIMISATION IN MICRO GROOVING
机译:
微型凹槽中的毛刺最小化
作者:
F. Z. Fang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
关键词:
Micro-machining;
grooves;
burr formation;
fly-cut;
57.
Design of a Visually Guided 6 DOF Micromanipulator System for 3D Assembly of Hybrid MEMS
机译:
用于杂交MEMS的3D组装6DOF微操纵器系统的设计
作者:
Bradley E. Kratochvil
;
Kemal Berk Yesin
;
Vincent Hess
;
Bradley J. Nelson
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
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2004年
58.
AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION
机译:
通过使用可视信息自动化细胞操纵系统
作者:
Libo Zhou
;
Zhongjun Qiu
;
Keisuke Nishida
;
Tomohiko Ishikawa
;
Jun Shimizu
;
Hiroshi Eda
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
59.
A LOW-COST AND HIGH-THROUGHPUT MEMS FABRICATION METHOD COMPATIBLE WITH IC MANUFACTURINGTECHNOLOGY
机译:
一种低成本和高通量MEMS制造方法与IC制造技术兼容
作者:
Xiqiu Fan
;
Sheng Liu
;
Honghai Zhang
;
Zhiwen Lu
;
Xiaofeng Hu
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
nanoimprint lithography (NIL);
3-D structure;
technological compatibility;
MEMS;
60.
A METHOD TO MAKE LOW-STRESS METAL THIN FILMS
机译:
一种制造低应力金属薄膜的方法
作者:
Long Zhang
;
Jian Zhu
;
Liqiang Lin
;
Min Zhuo
;
Jing Wu
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
61.
A Novel Technique of Producing Carbon Nanotubes Cold Cathode Thin Film
机译:
一种新型生产碳纳米管冷阴极薄膜
作者:
QIAN Kaiyou
;
LIN Yangkui
;
XU Dong
;
LI Jinyu
;
ZHANG Yafei
;
CAI Bingchu
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
62.
FABRICATION AND ASSEMBLY OF A HIGH PERFORMANCE AIR-BREATHING MICRO DIRECT METHANOL FUEL CELL
机译:
高性能空气呼吸微直接甲醇燃料电池的制造和组装
作者:
Junsheng Liang
;
Chong Liu
;
Jianguo Liu
;
Gang Zhao
;
Liding Wang
;
Xiaodong Wang
;
Gongquan Sun
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
63.
A HIGH f_(max) SiGe HBT WITH AIR-BRIDGE
机译:
带空气桥的高F_(MAX)SIGE HBT
作者:
Kaicheng Li
;
Daoguang Liu
;
Rongkan Liu
;
Jing Zhang
;
Rongqiang Li
;
Luncai Liu
;
Wei-Xin Ni
;
Wanjing Xu
;
Kaiquan He
;
Yukui Liu
;
Shiliu Xu
;
Gangyi Hu
;
Xueliang Xu
;
Guangbing Chen
;
Ulf Koenig
;
Adreas Gruhle
;
Horst Kibbel
;
Ulrich Zeiler
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
64.
Micro Electrochemical Machining of Stainless Steel
机译:
不锈钢微电化学加工
作者:
Bo Hyun Kim
;
Chan Wook Na
;
Byung Jin Park
;
Deok Ki Choi
;
Chong Nam Chu
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
65.
Development of desk-top type injection molding machine with low temperature plasticization mechanism
机译:
低温塑化机理的桌面注塑机的研制
作者:
Kiwamu Ashida
;
Noboru Morita
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
66.
DESKTOP MICRO DRILLING AND ASSEMBLING SYSTEM BY MICROROBOTS -Combination of Global and Local Positioning System-
机译:
桌面微钻孔和组装系统通过微机器 - 全局和局部定位系统的组合 -
作者:
Yutaka Wakikaido
;
Takashi Kawai
;
Shirou Kayano
;
Daigo Misaki
;
Ohmi Fuchiwaki
;
Takashi Usuda
;
Hisayuki Aoyama
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
67.
SPREADING MODEL OF SILICON-GLASS BONDING WITH POINT CATHODE
机译:
与点阴极硅玻璃粘合的扩散模型
作者:
Liu Xiaowei
;
Chuai Rongyan
;
Zhang Honghua
;
Chen Weiping
;
Zhang Guowei
;
Liu Yibo
;
Song Minghao
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
68.
SPECIFICATIONS OF TECHNICAL INFORMATION SYSTEM DEDICATED TO A REORGANIZABLE AND RECONFIGURABLE MICROFACTORY
机译:
专用于重组和可重新配置的微关节的技术信息系统规范
作者:
Eric Descourvieres
;
Dominique Gendreau
;
Philippe Lutz
;
Francois Kiefer
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
69.
3D MICROFABRIC ATION OF METAL MICROMOLD
机译:
3D金属微型微型制剂
作者:
DU Liqun
;
LIU Chong
;
LOU Zhifeng
;
CHU Denan
;
GONG Dehai
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
electroforming;
UV-LIGA process;
SU-8 photoresist;
MEMS;
70.
THE TEST STRUCTURE FOR SILICON-ON-GLASS (SOG) MEMS DEVICE
机译:
硅玻璃(SOG)MEMS装置的测试结构
作者:
Ruan Yong
;
Zhang Da-cheng
;
He Xue-feng
;
Wang Yang-yuan
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
71.
A method of Gaining Higher Diffractive Efficiency of Diffractive Spatial Light Modulator
机译:
衍射空间光调制器增加衍射效率的一种方法
作者:
J.Zhang
;
H.Q.Fu
;
S.L.Huang
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
关键词:
diffractive spatial light modulator;
grating light valve;
diffraction;
72.
Development of Glass-Like Carbon/Carbon Nanotube Composite Die for Mold-Press of Micro Glass Lens
机译:
微玻璃透镜模具压力机的玻璃状碳/碳纳米管复合模具的研制
作者:
Hiroaki Ito
;
Kohshi Ito
;
Masahiro Arai
;
Koh-ichi Sugimoto
;
Toshiaki Matsukura
;
Yuji Ushijima
;
University of Science and Technology of China(USTC)
;
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST)(JP)
;
National Natural Science Foundation of China(NSFC)
会议名称:
《International Workshop on Microfactories》
|
2004年
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