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SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication
SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication
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1.
Eutectic bonds on wafer scale by thin film multilayers
机译:
薄膜多层晶片尺度上的共晶键
作者:
Carsten Christensen
;
Siebe Bouwstra
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Flux-less bonding;
Gold-tin;
Gold-based eutectics;
Interdiffusion barriers;
2.
Electrodeposition of 3D microstructures without moulds
机译:
3D微结构的电沉积没有模具
作者:
A. Maciossek
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
3D microstructures;
Patterned plating base;
Electrodeposition;
3D surface components;
Low-cost technology;
3.
Micro-machine scanning tunneling microscope for nanoscale characterization and fabrication
机译:
微机械扫描隧道显微镜,用于纳米级特征和制造
作者:
Y. Wada
;
M. I. Lutwyche
;
M. Isibashi
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
4.
Micromachine scanning tunneling microscope for nanoscale characterization and fabrication
机译:
用于纳米尺度表征和制造的微机枪扫描隧道显微镜
作者:
Y.Wada
;
M.Lutwyche
;
M.Ishibashi
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
5.
Selective SiO2-xFx growth with liquid-phase deposition for MEMS technology
机译:
选择性SiO2-XFX增长与MEMS技术的液相沉积
作者:
Ching-Fa Yeh
;
Yueh-Chuan Lee
;
Jwinn-Lein Su
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
6.
Microelectro discharge machining as a technology in micromachining
机译:
微电器放电加工作为微机械线的技术
作者:
Wolfgang Ehrfeld
;
Heinz Lehr
;
Frank Michel
;
Andrej Wolf
;
Hans-Peter Gruber
;
Axel Bertholds
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
7.
Selective SiO{sub}(2-x)F{sub}x growth with liquid-phase deposition for MEMS technology
机译:
选择性SIO {SUB}(2-x)F {SUB} X增长与MEMS技术的液相沉积
作者:
Ching-Fa Yeh
;
Yueh-Chuan Lee
;
Jwinn-Lein Su
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Low-stress;
Liquid phase deposition;
LPD;
SiO{sub}(2-x)F{sub}x;
Selective deposition;
8.
Fabrication and performance of MARS optical modulators for fiber-to-the-home systems
机译:
MARS光学调制器的制造和性能对家用系统
作者:
J. A. Walker
;
K. W. Goossen
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
9.
Fabrication of LIGA mold inserts using a modified procedure
机译:
使用改进的程序制造LIGA模具插入物
作者:
Vikas Galhotra
;
Christophe Marques
;
Yohannes Desta
;
Kevin Kelly
;
Mircea Despa
;
Ajit Pendse
;
John Collier
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
LIGA;
Mold insert;
Electroplating;
Molding;
Clamping;
MEMS;
Micromachining;
10.
Fully self-aligned nickel wobble micromotor fabricated at low temperature
机译:
在低温下制造的完全自对准镍摆动微量运动
作者:
Minyao Mao
;
Xiaodong Wang
;
Jianfang Xie
;
Weiyuan Wang
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Electrostatic wobble micromotor;
Ni micromotor;
Quasi-LIGA technology;
Cu sacrificial layer;
11.
Micro electro discharge machining as a technology in micromachining
机译:
微电器放电加工作为微机械的技术
作者:
Wolfgang Ehrfeld
;
Heinz Lehr
;
Frank Michel
;
Andrej Wolf
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micro electro discharge machining;
LIGA;
Microreactors;
Micro injection moulding;
12.
Angular alignment for wafer bonding
机译:
晶片键合的角度对准
作者:
Yuan-Fang Chou
;
Ming-Hsun Hsieh
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Wafer bonding;
Alignment;
Anisotropic wet etching;
Offset angle indicating mark;
Self-aligning bonding fixture;
13.
Characterization and application of deep Si trench etching
机译:
深层沟槽蚀刻的特征与应用
作者:
J. G. Fleming
;
Carole Craig Barron
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Trench etching;
Micromachining;
ECR;
SF{sub}6-O{sub}2;
14.
Influence of resist-baking on the pattern quality of thick photoresists
机译:
抗蚀剂烘烤对厚光致抗蚀剂的图案质量的影响
作者:
Bernd Loechel
;
Martina Rothe
;
Simone Fehlberg
;
Gabi Gruetzner
;
Gerhard Bleidiessel
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
15.
Bipolar compatible epitaxial poly for surface micromachined smart sensors
机译:
双极兼容外延多用于表面微机械智能传感器
作者:
P. T. J. Gennissen
;
P. J. French
;
M. Bartek
;
P. M. Sarro
;
A. vd Boogaard
;
C. Visser
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Polysilicon;
Epipoly;
Compatible processing;
Surface micromachining;
Stress;
16.
Influence of resist baking on the pattern quality of thick photoresists
机译:
抗蚀剂烘烤对厚光致抗蚀剂的图案质量的影响
作者:
B. Loechel
;
M. Rothe
;
S. Fehlberg
;
G. Gruetzner
;
G. Bleidiessel
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
UV depth lithography;
Thick photoresist layers;
Resist baking;
Air-forced oven;
Hotplate;
IR radiation;
3D UV-microforming;
Electrochemical microfabrication;
3D surface components;
Low-cost technology;
17.
An assembly and interconnection technology for micromechanical structures using a anisotropic conductive film
机译:
使用各向异性导电膜的微机械结构的组装和互连技术
作者:
In-Byeong Kang
;
Malcolm R. Haskard
;
Byeong-Kwon Ju
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Anisotropic conductive film;
Wafer bonding;
Interconnection;
Microstructure;
Micropump;
18.
The influence of gas composition and mask materials on the etch profile of dry etched structures in silicon
机译:
气体组成和掩模材料对硅中干蚀刻结构蚀刻轮廓的影响
作者:
Norbert Schwesinger
;
Ivan Hotovy
;
Torsten Sandig
;
Alexander Pelzus
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Silicon etching;
RIE;
High aspect ratio;
Gas composition;
Masking material;
19.
Assembly and interconnection technology for micromechanical structures using anisotropic conductive film
机译:
各向异性导电膜的微机械结构组装和互连技术
作者:
In-Byeong Kang
;
Malcolm R. Haskard
;
Byeong-Kwon Ju
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
20.
Dry etching and micromachining of precision silicon components
机译:
干蚀刻和精密硅组件的微机械
作者:
E. W. Kreutz
;
W. Pfleging
;
J. Jandeleit
;
G. Urbasch
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Dry etching;
Micromachining;
Laser radiation;
Silicon;
Microstructures;
21.
Approach for semi-custom integrated sensor system manufacturing in a commercial CMOS technology
机译:
商业CMOS技术中半定制集成传感器系统制造方法
作者:
J. Bausells
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Integrated sensors;
Bulk micromachining;
MEMS manufacturing;
22.
Influence of gas composition and the mask materials on the etch profile of dry-etched structures in silicon
机译:
气体组成与掩模材料对硅中干蚀刻结构蚀刻轮廓的影响
作者:
Norbert Schwesinger
;
Ivan Hotovy
;
Torsten Saendig
;
Alexander Pelzus
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
23.
Invar electrodeposition for MEMS application
机译:
IMS应用的INVAR电源
作者:
Toshiki Hirano
;
Long-Sheng Fan
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Invar;
Electrodeposition;
MEMS;
Microactuator;
Thermal expansion;
Film stress;
Compatibility;
24.
Characterization of the embedded micromechanical device approach to the monolithic integration of MEMS with CMOS
机译:
嵌入式微机械设备方法对MEMS与CMOS的单片集成的特征
作者:
J. H. Smith
;
S. Montague
;
J. J. Sniegowski
;
J. R. Murray
;
R. P. Manginell
;
P. J. McWhorter
;
R. J. Huber
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Integration;
Micromechanics;
CMOS;
CMP;
Intelligent micromachines;
25.
Aluminum passivation in saturated TMAHW solutions for IC-compatible microstructures and device isolation
机译:
饱和TMAHW解决方案铝钝化,用于IC兼容微观结构和器件隔离
作者:
P. M. Sarro
;
S. Brida
;
W. v. d. Vlist
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Silicon micromachining;
TMAHW solutions;
Anisotropic etching;
Aluminum passivation;
26.
Fabrication of piezoresistive-sensed AFM cantilever probe with integrated tip
机译:
带有集成尖端的压阻式传感AFM悬臂探头的制造
作者:
Ivo W. Rangelow
;
Feng Shi
;
Peter Hudek
;
Teodor Gotszalk
;
Piotr B. Grabiec
;
Piotr Dumania
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
27.
The application of porous-Si micromachining technology in the calorimetric sensor
机译:
多孔SI微机械技术在量油传感器中的应用
作者:
Zongsheng Lai
;
Xinjun Wan
;
Pingsong Zhou
;
Yunzhen Wang
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micromachining;
Anodisation;
Porous-Si;
Calorimetric sensor;
28.
High etch rate, anisotropic deep silicon plasma etching for the fabrication of microsensors
机译:
高蚀刻速率,各向异性深硅等离子体蚀刻用于制造微传感器
作者:
T. Pandhumsoporn
;
M. Feldbaum
;
P. Gadgil
;
M. Puech
;
P. Maquin
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micromachining;
Plasma etching;
Deep silicon etching;
Anisotropy;
MEMS;
29.
High-etch-rate anisotropic deep silicon plasma etching for the fabrication of microsensors
机译:
用于制备微传感器的高蚀刻速率各向异性深硅等离子等离子体蚀刻
作者:
Tam Pandhumsoporn
;
M.Feldbaum
;
Prashant Gadgil
;
Michel Puech
;
P.Maquin
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
30.
Development of metal-forming machine for fabricating micromechanical component
机译:
制造微机械部件金属成型机的研制
作者:
Isamu Aoki
;
Toshinori Takahashi
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Metal forming;
Die-forming;
Three-dimensional microcomponent;
Micromachine;
Press machine;
Forceps;
31.
Fabrication of piezoresistive sensed AFM cantilever probe with integrated tip
机译:
带有集成尖端的压阻式AFM悬臂探头的制造
作者:
Lvo W. Rangelow
;
Feng Shi
;
Peter Hudek
;
Teodor Gotszalk
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Sensors;
Bulk micromachining;
Silicon technology;
AFM;
32.
Characterization of residual stress in metallic films on silicon with micromechanical devices
机译:
微机械装置硅金属薄膜残余应力的特征
作者:
M. Boutry
;
A. Bosseboeuf
;
G. Coffignal
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Stress;
Micromechanical devices;
Metallic film;
FEM simulations;
Surface micromachining;
33.
Test structures for nondestructive in-situ control of the anodic bonding quality
机译:
无损原位控制阳极粘接质量的测试结构
作者:
Jose A. Plaza
;
Jaume Esteve
;
Emilio Lora-Tamayo
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
34.
Silicon micromachined poppet valve with an octagonal diaphragm
机译:
具有八角形隔膜的硅片微机提升阀
作者:
J. W. Siekkinen
;
K. J. Haltiner
;
D. W. Chilcott
;
L. X. Huang
;
S. E. Staller
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Silicon;
Micromachining;
Micromechanical;
Valve;
Flow;
35.
Test structures for non-destructive in-situ control of anodic bonding quality
机译:
用于非破坏性原位控制的阳极粘接质量的测试结构
作者:
Joes A. Plaza
;
Jaume Esteve
;
Emilio Lora-Tamayo
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Anodic bonding;
Electrostatic test;
Non-destructive;
Test;
36.
Application of micromachining technology to optical devices and systems
机译:
微机械加工技术在光学装置和系统中的应用
作者:
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
MEMS;
Micromachine;
Optics;
Microactuator;
LIGA process;
Silicon;
37.
Silicon micromachining technologies: future needs and challenges
机译:
硅片微机械技术:未来的需求和挑战
作者:
Khalil Najafi
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micromachining technologies;
Packaging;
Integration;
High-aspect ratio;
Integrated systems;
Sensors;
38.
Simple technology for fabricating micromechanical 3D structures using electroplating without photoresist model
机译:
使用电镀在没有光刻胶模型的情况下使用电镀制造微机械3D结构的简单技术
作者:
Bahram Ghodsian
;
M. Parameswaran
;
Marek Syrzycki
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
MEMS;
Electroplating;
3D microstructures;
Single-crystal silicon;
Molding;
Chemical detectors;
Gas chromatographic system;
High aspect ratio;
Micromachining;
39.
Characterization of membrane curvature in micromachined silicon accelerometers and gyroscopes using optical interferometry
机译:
使用光学干涉测量仪中微机械硅加速度计和陀螺仪的膜曲率表征
作者:
J. T. Borenstein
;
P. Greiff
;
J. B. Sohn
;
M. S. Weinberg
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
40.
Dry etching and boron diffusion of heavily doped, high aspect ratio Si trenches
机译:
干蚀刻和硼扩散严重掺杂,高纵横比Si沟槽
作者:
W. H. Juan
;
J. W. Weigold
;
S. W. Pang
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Dry etching;
Boron diffusion;
High aspect ratio Si trenches;
Deep etch-shallow diffusion process;
electron cyclotron resonance source;
41.
Polysilicon microswitch for planar antenna phase shifters
机译:
Polysilicon SicroSwitch用于平面天线相移器
作者:
Sandrine Lucas
;
King Kis-Sion
;
Jacques Pinel
;
Olivier Bonnaud
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Microswitch;
Surface micromachining;
LPCVD polysilicon;
Sputtered silicon dioxide;
Dry and wet etching;
Strain relaxation;
Stiction;
42.
Supercritical carbon dioxide solvent extraction from surface-micromachined micromechanical structures
机译:
超临界二氧化碳溶剂萃取表面微机械微机械结构
作者:
C. W. Dyck
;
J. H. Smith
;
S. L. Miller
;
E. M. Russick
;
C. L. J. Adkins
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Supercritical carbon dioxide;
Drying;
Surface micromachining;
Stiction;
Adhesion;
Release process;
Yield;
Microengines;
Cantilevers;
Solvent extraction;
43.
Micromachining inertial instruments
机译:
微机械线惯性仪器
作者:
M. Weinberg
;
J. Bernstein
;
J. Borenstein
;
J. Campbell
;
J. Cousens
;
B. Cunningham
;
R. Fields
;
P. Greiff
;
B. Hugh
;
L. Niles
;
J. Sohn
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Silicon microfabrication;
Miniature microelectromechanical instruments;
Micromechanical instruments;
Silicon wafer process;
Silicon on glass;
44.
Collective fabrication of gallium arsenide based microsystems
机译:
基于砷化镓的微系统的集体制造
作者:
J. M. Karam
;
B. Courtois
;
M. Holjo
;
J. L. Leclercq
;
P. Viktorovitch
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
GaAs micromachining;
Multi-project-wafer;
MESFET;
HEMT;
MEMS;
Micromechanics;
45.
Micromolding: a powerful tool for large-scale production of precise microstructures
机译:
MicroMolding:一种强大的精确组织的大规模生产工具
作者:
Lutz Weber
;
Wolfgang Ehrfeld
;
Herbert Freimuth
;
Manfred Lacher
;
Heinz Lehr
;
Bernhard Pech
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
46.
Micro molding - a powerful tool for the large scale production of precise microstructures
机译:
微型模塑 - 一种强大的工具,用于大规模生产精确的微观结构
作者:
Lutz Weber
;
Wolfgang Ehrfeld
;
Herbert Freimuth
;
Manfred Lacher
;
Heinz Lehr
;
Bernhard Pech
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micromolding;
LIGA technique;
Polymer;
Ceramic;
Metal;
47.
Chemically amplified deep UV resists for micromachining
机译:
化学扩增的深紫外线抗抗体用于微机芯
作者:
Peter Hudek
;
Ivo W. Rangelow
;
Ivan Kostic
;
Piotr Grabiec
;
Feng Shi
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Chemically amplified resist;
Electron beam lithography;
Reactive ion etching;
Microfabrication;
Micromachining dry etch;
Plasma etch;
48.
Chemical-mechanical polishing: enhancing the manufacturability of MEMS
机译:
化学机械抛光:提高MEMS的可制造性
作者:
Jeffry J. Sniegowski
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Surface micromachining;
Polysilicon;
Microelectromechanical systems;
Chemical mechanical polishing;
Planarization;
49.
Collective fabrication of gallium-arsenide-based microsystems
机译:
基于砷化镓的微系统的集体制造
作者:
Jean-Michel Karam
;
Bernard Courtois
;
M.Holjo
;
J.L. Leclercq
;
P.Viktorovitch
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
50.
Commercializing MEMS - too fast or too slow
机译:
商业化MEMS - 太快或太慢
作者:
Steven Walsh
;
Bill Carr
;
Hillary Mados
;
Divjot S. Narang
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Commercialization;
Competency;
Market analysis;
Technology evaluations;
MEMS;
51.
Release-etch modeling for complex surface micromachined structures
机译:
复合表面微机械结构的释放蚀刻建模
作者:
W. P. Eaton
;
J. H. Smith
;
R. L. Jarecki
会议名称:
《SPIE Sympoium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Release etch;
Surface micromachining;
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