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Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices

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1.CMOS-Integrated Stress Sensor Systems for Mechanical Sensing and Packaging Reliability Testing

机译：CMOS综合应力传感器系统，用于机械传感和包装可靠性测试
- 作者：Oliver Paul;Pascal Gieschke;Benjamin Lemke
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
2.Commercial MEMS Case Studies: The Impact of Materials, Processes and Designs

机译：商业MEMS案例研究：材料，流程和设计的影响
- 作者：Jack Martin
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
3.BioMEMS Technologies for Regenerative Medicine

机译：生物美容技术再生医学技术
- 作者：Jeffrey T. Borenstein
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
4.Droplet Formation at Microfluidic T-junctions

机译：微流体T型连接处的液滴形成
- 作者：Yu Xiang;David A. LaVan
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
5.Micro Tensile Tests on Aluminium Thin Films: Tensile Device and In-Situ Observations

机译：铝薄膜上的微拉伸试验：拉伸装置和原位观察
- 作者：M. Ignat;S. Lay;F. Roussel-Dherbey;C. Seguineau;C. Malhaire;Xavier Lafontan;J. M. Desmarres;S. Brida
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
6.Effect of Process Variables on Glass Frit Wafer Bonding in MEMS Wafer Level Packaging

机译：工艺变量对MEMS晶圆水平封装玻璃玻璃料晶圆键合的影响
- 作者：S. Sridharan;J. Henry;J. Maloney;B. Gardner;K. Mason;V. Dragoi;J. Burggraf;E. Pabo;E. Cakmak
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
7.A Perturbation-Based Method for Extracting Elastic Properties during Spherical Indentation of an Elastic Film/Substrate Bilayer

机译：基于扰动的弹性膜/基板双层的球形压痕中的弹性特性的方法
- 作者：Jae Hun Kim;Andrew Gouldstone;Chad S. Korach
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
8.Bio-compatible micro-sensor for blood pressure measurement using SiC technology

机译：生物兼容的微传感器，用于使用SIC技术进行血压测量
- 作者：Nupur Basak;G. L. Harris;James Griffin;K. D. Wise
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
9.Surface Treated PDMS by UV-Vis Light Applied to Micro-fluidic Device

机译：通过施加到微流体装置的UV-Vis光表面处理的PDMS
- 作者：Seisuke Kano;Sohei Matsumoto;Naoki Ichikawa
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
10.Investigation of gold sputter coated vertically aligned multi-walled carbon nanotubes for RF MEMS contact surfaces

机译：用于RF MEMS接触表面的垂直对齐多壁碳纳米管的金溅射的研究
- 作者：E. M. Yunus;S. M. Spearing;J. W. McBride
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
11.Charging processes in silicon nitride films for RF-MEMS capacitive switches: The effect of deposition method and film thickness

机译：用于RF-MEMS电容开关的氮化硅膜中的充电过程：沉积方法和薄膜厚度的效果
- 作者：U. Zaghloul;A. Belarni;F. Coccetti;G. J. Papaioannou;R. Plana;P. Pons
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
12.Novel Technique to Determine Elastic Constants of Thin Films

机译：薄膜弹性常数的新颖技术
- 作者：K. J. Martinschitz;R. Daniel;Ch. Mitterer;J. Keckes
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
13.Thermal Bubble Nucleation in Nanochannels: Simulations and Strategies for Nanobubble Nucleation and Sensing

机译：纳米通道的热泡成核：纳米博bble成核和传感的模拟和策略
- 作者：Manoj Sridhar;Dongyan Xu;Anthony B. Hmelo;Deyu Li;Leonard C. Feldman
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
14.Fabrication and Hot Switching Behavior of Electroplated Gallium Spheres for MEMS

机译：MEMS电镀镓球体的制造和热切换行为
- 作者：Yoonkap Kim;David F. Bahr
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
15.Microfabrication of Si/SiO_2-Spherical Shells as a Path to Sub-mm~3 Autonomous Robotic Systems

机译：Si / SiO_2-球形壳体的微型制剂作为亚mm〜3自主机器人系统的路径
- 作者：Vladimir S. Vasilyev;J. Robert Reid;Richard T. Webster
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
16.Strength and Fatigue Life of Nanocrystalline Titanium/Platinum Multilayer Membranes for Implantable MEMS Reservoir Array Devices

机译：用于植入式MEMS储层器件的纳米晶钛/铂多层膜的强度和疲劳寿命
- 作者：Karl B. Yoder;John M. Maloney;Jonathan Cpppeta
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
17.Active Field Effect Capacitive Sensors for High-Throughput, Label-Free Nucleic Acid Analysis

机译：用于高通量，无标记核酸分析的活性场效应电容传感器
- 作者：Manu Sebastian Mannoor;Teena James;Dentcho V. Ivanov;Bill Braunlin;Les Beadling
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
18.A novel gap narrowing process for creating high aspect ratio transduction gaps for MEM HF Resonators

机译：一种新的间隙缩小方法，用于MEM HF谐振器的高纵横比转导间隙
- 作者：S. Stoffels;G. Bryce;R. Van Hoof;B. Du Bois;R. P. Mertens;R. Puers;H. A. C. Tilmans;A. Witvrouw
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
19.An Improved Nanotribological System for Hard Disk Drives

机译：用于硬盘驱动器的改进的纳米级系统
- 作者：Xuan Li;James Economy
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
20.Metal Wafer Bonding for MEMS Applications

机译：MEMS应用的金属晶片键合
- 作者：V. Dragoi;G. Mittendorfer;F. Murauer;E. Cakmak. E. Pabo
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
21.Rapid Cell Manipulation by Rotating Nanowires

机译：通过旋转纳米线进行快速的细胞操纵
- 作者：Hansong Zeng;Joshua Ebel;Yi Zhao
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
22.Through Silicon Vias in Micro-Electro Mechanical Systems

机译：通过微电机系统中的硅通孔
- 作者：Stephan Warnat;Ramona Ecke;Norman Marenco;Sven Gruenzig;Wolfgang Reinert;Peter Lange
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
23.Aluminum Nitride Thin Film Based Surface Acoustic Wave Sensors

机译：基于氮化铝的薄膜表面声波传感器
- 作者：A. Kabulski;V. R. Pagan;D. Cortes;R. Burda;O. M. Mukdadi;D. Korakakis
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
24.Transport of Charged Species across Solid-State Nanopores

机译：用固态纳米孔运输带电物种
- 作者：Daisy Fung;E. Akdemir;M. J. Vitarelli;Eugene Sosnov;Shaurya Prakash
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
25.Measurement and Analysis of Structural Damping in Silicon Carbide Microresonators

机译：碳化硅微管中结构阻尼的测量与分析
- 作者：Sairam Prabhakar;Frederic Nabki;Mourad El-Gamal;Srikar Vengallatore
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
26.Controlling the Wrinkling of the Bilayer Thin Films Electrothermally

机译：控制双层薄膜电热的皱纹
- 作者：Shravan Chintapatla;John F. Muth;Leda M. Lunardi
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
27.Evaluation of the Mechanical Properties of Aluminum Thin Films as a Function of Strain Rate using the Wafer-Scale Microtensile Technique

机译：使用晶片级微调技术评估铝薄膜力学性能作为应变速率的函数
- 作者：Joao Gaspar;Marek E. Schmidt;Jochen Held;Oliver Paul
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
28.Investigating the stress and crystal quality of AlN Air-Bridges through micro-Raman scattering

机译：通过微拉曼散射研究Aln空气桥梁的应力和晶体质量
- 作者：Sridhar Kuchibhatla;L. E. Rodak;D. Korakakis
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
29.Effects of Aspect Ratio of Micro-sized Photoresist Patterns on Bond Strength between a Si Substrate with AFM Fracture Observation

机译：微尺寸光致抗蚀剂图案与AFM断裂观察Si衬底粘合强度纵横比的影响
- 作者：Chiemi Ishiyama;Akinobu Shibata;Masato Sone;Yakichi Higo
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
30.Growth of Epitaxial Potassium Niobate Film on (100)SrRuO_3/(100)SrTiO_3 by Hydrothermal Method and their Electromechanical Properties

机译：通过水热法及其机电性能的（100）Srruo_3 /（100）SrtiO_3上外延钾铌酸钾膜的生长及其机电性能
- 作者：Mutsuo Ishikawa;Shintaro Yasui;Satoru Utsugi;Takashi Fujisawa;Tomoaki Yamada;Takeshi Morita;Minora Kurosawa;Hiroshi Funakubo
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
31.Resonance Fatigue Testing of Cantilever Specimens Prepared from Thin Films

机译：薄膜制备的悬臂标本的共振疲劳试验
- 作者：Kwangsik Kwak;Masaaki Otsu;Kazuki Takashima
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
32.Fabrication and Piezoelectric Characterization of AlN Mesa Structures

机译：ALN MESA结构的制造和压电特征
- 作者：R. Farrell;A. Kabulski;V. R. Pagan;S. Yeldandi;X. A. Cao;P. Famouri;J. Peter Hensel;D. Korakakis
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
33.Fast and Controlled Integration of Carbon Nanotubes into Microstructures

机译：碳纳米管的快速和控制整合到微观结构中
- 作者：Wenjun Xu;Chang-Hyeon Ji;Richard Shafer;Mark G. Allen
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
34.Design and Fabrication of MEMS Piezoelectric Rotational Actuators

机译：MEMS压电旋转致动器的设计和制造
- 作者：Danny Gee;Wayne A. Churaman;Luke J. Currano;Eugene Zakar
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
35.Dicing of Fragile MEMS Structures

机译：切割脆弱的MEMS结构
- 作者：Peter Lange;Norman Marenco;Sven Gruenzig;Stephan Warnat;Thilo Semperowitsch
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年
36.Bending of Pd-based thin film metallic glasses by laser forming process

机译：激光成型工艺弯曲PD基薄膜金属玻璃
- 作者：Yuki Ide;Masaaki Otsu;Junpei Sakurai;Seiichi Hata;Kazuki Takashima
- 会议名称：《Symposium GG on Microelectromechanical Systems - Materials and Devices》 | 2009年