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European Advanced Process Control and Manufacturing Conference
European Advanced Process Control and Manufacturing Conference
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1.
Analysis and Prediction of FAB's Work in Process Using Machine Learning
机译:
使用机器学习的工艺工厂工作的分析与预测
作者:
Maydan Wienreb
;
Boaz Lerner
;
Gadi Rabinowitz
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
2.
Enhancements of FDC Systems for legacy fabs
机译:
传统工厂FDC系统的增强
作者:
Andreas Feustel
;
Torsten Munch
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
3.
Adaptive Fault Detection and Classification Model Based on Decision Tree Learning with Structural Signal Features
机译:
基于决策树学习的结构信号特征自适应故障检测与分类模型
作者:
Hoyeop Lee
;
Jong Myoung Ko
;
Hyo Heon Ko
;
Chang Ouk Kim
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
4.
Case base reasoning approach for estimating the lots cycle time in a wafer fab
机译:
晶圆形工厂估算批次循环时间的案例基础推理方法
作者:
Maria Vittoria Pappalardo
;
Giuseppe Bruno
;
Federica Ciccullo
;
Margherita Pero
;
Giovanni Pirovano
;
Emanuele Ragusa
;
Concetta Cantonc
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
5.
Chlorosilane monitoring system for an Epitaxy Plant
机译:
外延植物的氯硅烷监测系统
作者:
D. Pagano
;
M. Bagagiolo
;
S. Mazzaglia
;
G. Bruno
;
D. Lavalle
;
D. DiCola
;
E. Ragusa
;
K. Cantone
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
6.
Dynamic sampling of oxide thickness measurements for DNZ process in vertical diffusion tubes
机译:
垂直扩散管中DNZ工艺的氧化物厚度测量的动态采样
作者:
Matthias Breunig
;
Hans-Jurgen Kutzer
;
Michael Bauer
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
7.
State validation for EWMA based R2R controllers
机译:
基于EWMA的R2R控制器的状态验证
作者:
Ulf Seidel
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
8.
Process Control Monitoring Improvements using a fab level metrology APC application
机译:
使用FAB级计量APC应用程序控制监控改进
作者:
Andre Holfeld
;
Jakob Salzmann
;
Carsten Hartig
;
Stephan Melzig
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
9.
The influence of human operations on the factory performance of a high-mix low-volume ASIC facility - A case study
机译:
人类运营对高混合低批量ASIC设施工厂性能的影响 - 以案例研究
作者:
Mike Gissrau
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
10.
Optical metrology for full-field wafer nanotopography inspection
机译:
用于全场晶圆纳米术检查的光学计量
作者:
Alexander Tobisch
;
Martin Schellenberger
;
Lothar Frey
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
11.
Automatic Generation of Simulation Models of Automated Material Handling Systems in Semiconductor Manufacturing
机译:
半导体制造中自动材料处理系统的自动生成仿真模型
作者:
Andre Gellrich
;
Clemens Schwenke
;
Germar Schneider
;
Klaus Kabitzsch
;
Thomas Wagner
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
12.
Flexible Total Cost of Ownership Calculation (TCO) Tool to calculate and plan manufacturing lines with Open Source Software Technologies
机译:
灵活的总产值总成本(TCO)工具,以计算和规划带开源软件技术的制造行
作者:
Bert Muller
;
Jochen Kinauer
;
Andre Richter
;
Pierre Anderlik
;
Claudia Uhlich
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
13.
Wait-Time Waste Opportunities in SECS/GEM based 200mm fabs - (WP 2 - Task 2.2)
机译:
SECS / GEM的等待时间浪费机会200mm FABS - (WP 2 - 任务2.2)
作者:
Jan Driessen
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
14.
Visualization of the Lot Flow in a Semiconductor Power Fab with High Complexity
机译:
具有高复杂性的半导体功率工厂中的批次流动的可视化
作者:
Stefan Schabus
;
Klaus Sandtner
;
Cristina De Luca
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
15.
First wafer effect on epitaxial reactors with parallel coordinate visualization
机译:
对具有平行坐标可视化的外延反应器的第一晶片效应
作者:
Marco Bagagiolo
;
Daniele Pagano
;
Robert H. McCafferty
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
16.
An Adaptive Exponential Weighted Moving Average Filter for Overlay Correction in Photolithography
机译:
用于光刻校正的自适应指数加权移动平均滤波器
作者:
Paolo Ciotti
;
Gianni Stati
;
Andrea Crivellari
;
Gabriele Porri
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
17.
Analyzing Event Data: Where Does All the Time Go?
机译:
分析事件数据:所有时间在哪里?
作者:
Alan Weber
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
18.
An Autonomous Robotic System for handling wafer cassettes
机译:
用于处理晶圆盒的自主机器人系统
作者:
Peter Henoeckl
;
Bianca Ganser
;
Markus Vincze
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
19.
A Look into the Future of Enabling 300mm Power Technologies and Automation Challenges
机译:
展望实现300毫米电力技术和自动化挑战的未来
作者:
Cristina De Luca
;
Germar Schneider
;
Harry Marinus
;
Peter Irsigler
;
Kurt Aigner
;
Manfred Engelhardt
;
Johann Massoner
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
20.
Fast Machine Ramp-up: Through a Comprehensive Equipment Automation Platform
机译:
快速机器加速:通过全面的设备自动化平台
作者:
Karl-Heinz Fandrey
;
Paul Rogers
;
Roland Willmann
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
21.
Exploring the effects of lot size on cycle time and throughput in semiconductor industry - a first empirical study
机译:
探索批量大小对半导体产业循环时间和吞吐量的影响 - 第一实证研究
作者:
Sophia Keil
;
Dietrich Eberts
;
Andre Wenzel
;
Andreas Hartmann
;
Rainer Lasch
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
22.
Enhancements of FDC Systems for legacy fabs
机译:
传统工厂FDC系统的增强
作者:
Andreas Feustel
;
Torsten Munch
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
23.
Dynamic sampling of oxide thickness measurements for DNZ process in vertical diffusion tubes
机译:
垂直扩散管中DNZ工艺的动态采样
作者:
Matthias Breunig
;
Hans-Jurgen Kutzer
;
Michael Bauer
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
24.
Chlorosilane monitoring system for an Epitaxy Plant
机译:
氯硅烷监测系统为外延植物
作者:
D. Pagano
;
M. Bagagiolo
;
S. Mazzaglia
;
G. Bruno
;
D. Lavalle
;
D. DiCola
;
E. Ragusa
;
K. Cantone
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
25.
Analysis and Prediction of FAB's Work in Process Using Machine Learning
机译:
使用机器学习的工厂工厂工作的分析与预测
作者:
Maydan Wienreb
;
Boaz Lerner
;
Gadi Rabinowitz
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
26.
Process Control Monitoring Improvements using a fab level metrology APC application
机译:
使用FAB级计量APC应用程序控制监控改进
作者:
Andre Holfeld
;
Jakob Salzmann
;
Carsten Hartig
;
Stephan Melzig
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
27.
The influence of human operations on the factory performance of a high-mix low-volume ASIC facility - A case study
机译:
人类运营对高混合低批量ASIC设施工厂性能的影响 - 以案例研究
作者:
Mike Gissrau
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
28.
Flexible Total Cost of Ownership Calculation (TCO) Tool to calculate and plan manufacturing lines with Open Source Software Technologies
机译:
灵活总产值总成本(TCO)工具,以计算和规划带开源软件技术的制造行
作者:
Bert Muller
;
Jochen Kinauer
;
Andre Richter
;
Pierre Anderlik
;
Claudia Uhlich
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
29.
An Adaptive Exponential Weighted Moving Average Filter for Overlay Correction in Photolithography
机译:
用于光刻中的覆盖校正的自适应指数加权移动平均滤波器
作者:
Paolo Ciotti
;
Gianni Stati
;
Andrea Crivellari
;
Gabriele Porri
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
30.
An Autonomous Robotic System for handling wafer cassettes
机译:
一种处理晶圆盒的自主机器人系统
作者:
Peter Henoeckl
;
Bianca Ganser
;
Markus Vincze
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
31.
Analyzing Event Data: Where Does All the Time Go?
机译:
分析事件数据:所有时间在哪里?
作者:
Alan Weber
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
32.
Fast Machine Ramp-up: Through a Comprehensive Equipment Automation Platform
机译:
快速机器加速:通过全面的设备自动化平台
作者:
Karl-Heinz Fandrey
;
Paul Rogers
;
Roland Willmann
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
33.
A Look into the Future of Enabling 300mm Power Technologies and Automation Challenges
机译:
展望能够实现300毫米电源技术和自动化挑战的未来
作者:
Cristina De Luca
;
Germar Schneider
;
Harry Marinus
;
Peter Irsigler
;
Kurt Aigner
;
Manfred Engelhardt
;
Johann Massoner
会议名称:
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》
|
2014年
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