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集積化MEMSシンポジウム
集積化MEMSシンポジウム
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1.
LTCC基板を用いたMEMS移相器のRF特性評価
机译:
使用LTCC板的MEMS移相器的RF表征
作者:
勝部弘輝
;
檜垣嵩之
;
西野朋季
;
古塚岐
;
鈴木健一郎
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
关键词:
RF MEMS;
アンテナ;
フェーズドアレイ;
移相器;
LTCC;
2.
pnダイオードRing型ァクチユエ一夕の機械振動特性評価
机译:
PN二极管环型Adachiyu Eannoba机器振动特性评估
作者:
津島卓史
;
旭陽一
;
谷川紘
;
古塚岐
;
鈴木健一郎
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
3.
有機系粒子状物質を検出するマイクロセンサの研究
机译:
检测有机颗粒物质的微传感器的研究
作者:
神保 直道
;
山口 富治
;
原 和裕
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
4.
伸縮可能な'Kirigami'バイオプローブ電極フィルムの特性評価
机译:
可扩展的“kirigami”生物疏体电极膜的表征
作者:
森川 雄介
;
山際 翔太
;
澤畑 博人
;
石田 誠
;
河野 剛士
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
5.
PFAとコロイダルシリカとの濡れ性を改善したシリカ凝集体エレクトレットの作製と特性評価
机译:
基二氧化硅聚集电器的制造与表征,PFA和胶体二氧化硅之间的润湿性改善
作者:
呉 シンク
;
蔭山 健介
;
坂井 建宣
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
6.
導電性高分子アクチュエーターによる動的メタマテリアル
机译:
具有导电聚合物致动器的动态超材料
作者:
松井 龍之介
;
猪瀬 優人
;
森 広貴
;
木下 貴夫
;
Mingkai Liu
;
David A. Powell
;
Ilya V. Shadrivov
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
7.
MEMS共振器における共振周波数温度変動の評価
机译:
MEMS谐振器共振频率温度波动评估
作者:
金内俊也
;
西田拓真
;
谷川紘
;
西野朋季
;
鈴木健一郎
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
8.
金ナノロッド構造を用いた光熱変換によるレーザ波長計測マイクロ振動子デバイス
机译:
采用金纳米棒结构光热转换激光波长测量微发电机装置
作者:
菅野 公二
;
田中 祐樹
;
磯野 吉正
;
前田 悦男
;
米谷 玲皇
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
9.
LZMWを用いたキネシンによるATP加水分解サイクルの可視化
机译:
使用LZMW通过Kinesin进行ATP水解循环的可视化
作者:
藤本 和也
;
森田 有貴
;
飯野 亮太
;
富重 道雄
;
新宅 博文
;
小寺 秀俊
;
横川 隆司
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
10.
深海pH計測の為の現場校正機能付きpHセンサの開発
机译:
PH传感器的开发具有用于深海pH测量的现场校准功能
作者:
福場 辰洋
;
下島 公紀
;
岡村 慶
;
藤井 輝夫
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
11.
連続電気滴定用水質計ユニットの開発
机译:
开发连续电气滴定水质仪表单元
作者:
柿本 紘希
;
樋口 俊一
;
小山 恵里
;
竹迫 良紀
;
村上 裕二
;
三宅 亮
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
12.
光?力?温度複合MEMSセンサによる冷温感を含む質感の評価
机译:
光功率?评估纹理,包括寒冷温度,温度复合MEMS传感器
作者:
佐藤 文哉
;
高橋 賢太
;
安部 隆
;
奥山 雅則
;
野間 春生
;
寒川 雅之
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
13.
自律駆動型環境複合センサの開発
机译:
自主驱动环境复杂传感器的开发
作者:
酒井隆介
;
上田直亜
;
三野宏之
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
14.
微小セル型アンペロメトリック酵素サの研究
机译:
微细胞型浓度酶的研究
作者:
磯野 友宏
;
長谷川 有貴
;
内田 秀和
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
15.
環境温度の影響が小さい高精度ひずみセンサの開発
机译:
高精度应变传感器的开发,环境温度影响小
作者:
鮫島健
;
鈴木良孝
;
濱松伸到
;
横内裕
;
吉田隆司
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
16.
表面実装型集積化MEMSMEMSのためレーザ消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウハへの深いTSVの作製
机译:
用于激光擦除CMOS-LSI多重项目制造的表面安装型集成MEMSMEM对多层语
作者:
鈴木裕輝夫
;
福士秀幸
;
室山真徳
;
畑良幸
;
中山貴裕
;
平野栄樹
;
野々村裕
;
田中秀治
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
17.
神経網型触覚センサ用LSI を用いた温感センシングの提案
机译:
用于神经网络型触觉传感器的LSI热敏感测的提案
作者:
菅沼雄介
;
Chenzhong Shao
;
外山真一郎
;
吉川正太
;
Travis Bartley
;
中山貴裕
;
山口宇唯
;
田中秀治
;
室山真徳
;
野々村裕
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
18.
LTCC基板を用いたMEMS移相器のRF特性評価
机译:
使用LTCC板的MEMS移相器的RF表征
作者:
勝部弘輝
;
檜垣嵩之
;
西野朋季
;
古塚岐
;
鈴木健一郎
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
19.
SOI -MEMS技術による熱式マイクロ?フーセンサ
机译:
通过SOI-MEMS技术进行热微胡敏
作者:
星野 敬亮
;
室 英夫
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
20.
流体自動搬送機能を持つ高周波可変キャパシタの開発
机译:
具有流体自动运输功能的高频可变电容的开发
作者:
金澤翔太
;
西原拓宏
;
藤井英徳
;
古塚岐
;
鈴木健一郎
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
21.
多層膜積型微細構造による太陽光選択吸収材料
机译:
通过多层薄膜式微观结构进行太阳能选择性吸收材料
作者:
清水 信
;
阿久津 宏樹
;
津田 慎一郎
;
熊野 勝文
;
湯上 浩雄
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
22.
圧電MEMS デバイスの開発
机译:
压电MEMS装置的开发
作者:
小林 健
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2016年
23.
光励振法を用いたグラフェン共振器の固有振動数評価
机译:
利用光励磁法计算石墨烯谐振器的数量评价
作者:
髙橋一浩
;
石田隼斗
;
喜種慎
;
岩田達哉
;
澤田和明
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2019年
关键词:
グラフェン共振器;
CVDグラフェン;
ドライ転写;
固有振動数;
光励振;
ドラム構造;
24.
チタン薄膜を用いたウェハ常温接合: キャップ層とナノシリコン層の導入
机译:
使用钛薄膜的晶片常温键合:盖层和纳米硅层的引入
作者:
日暮栄治
;
東颯人
;
山本道貴
;
松前貴司
;
倉島優一
;
高木秀樹
;
須賀唯知
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2019年
关键词:
常温接合;
チタン薄膜;
キャップ層;
ナノシリコン層;
表面活性化接合;
表面粗さ;
固相非晶質化反応;
25.
2自由度系圧電MEMS振動発電素子における出力特性の向上
机译:
2自由系统压电MEMS振动发电元件的输出特性改进
作者:
吉村武
;
荒牧正明
;
藤村紀文
;
村上修一
;
神田健介
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2019年
关键词:
圧電;
MEMS;
振動発電;
2自由度;
26.
60μNの摩擦力感度と0.5μmの空間分解能を有するナノ領域触覚センサの制作と評価
机译:
纳米域触觉传感器的生产和评估具有60μN的摩擦敏感性和0.5μm的空间分辨率
作者:
中島翼
;
綿谷一輝
;
寺尾京平
;
下川房男
;
高尾英邦
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2019年
关键词:
触覚センサ;
手触り感;
ナノ領域;
表面形状;
摩擦力;
27.
3次元構造撮像デバイスの多層積層化に向けたウェハ接合による多層積層技術
机译:
多层层压技术通过晶圆结来用于三维结构成像装置的多层层压
作者:
本田悠葵
;
後藤正英
;
渡部俊久
;
難波正和
;
井口義則
;
更屋拓哉
;
小林正治
;
年吉洋
;
平本俊郎
;
日暮栄治
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2019年
关键词:
イメージセンサ;
3次元集積化技術;
多層積層技術;
直接接合;
ハイブリッド接合;
ウェハ接合;
SOI;
28.
増倍膜積層用CMOSイメージセンサの変換ゲイン向上
机译:
用于乘法膜层压的CMOS图像传感器的变换增益改进
作者:
渡部俊久
;
本田悠葵
;
新井俊希
;
難波正和
;
島本洋
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2019年
关键词:
CMOSイメージセンサ;
増倍膜;
積層;
変換ゲイン;
高感度;
高S/N;
4トランジスタ画素;
29.
微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討
机译:
用于弱肌音测量的高分辨率MEMS惯性传感器模块的检查
作者:
古賀達也
;
市川崇志
;
田中直登
;
緒方大樹
;
大良宏樹
;
山根大輔
;
石原昇
;
伊藤浩之
;
曽根正人
;
町田克之
;
三宅美博
;
益一哉
会议名称:
《集積化MEMSシンポジウム》
|
2019年
关键词:
MEMS;
慣性センサ;
モジュール;
高分解能;
筋音;
積層メタル技術;
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