机译:高能短波(438 nm)激光辐射产生的等离子体的离子发射特性
High-z targets; Charged ions; Direct implantation; Diagnostics; Pulses; System;
机译:高能短波(438 nm)激光辐射产生的等离子体的离子发射特性
机译:SN激光产生的等离子体的短波长波长带外EUV排放
机译:CO_2激光产生的氙等离子体的极紫外辐射发射特性
机译:具有固体锡靶的极端紫外线辐射发射特性的直接比较紫外线:YAG激光产生的等离子体
机译:Nd:YAG和CO2激光产生的锡等离子体的发射特性,可用于极端紫外光刻源的开发。
机译:超短激光产生等离子体的离子发射特性
机译:来自sn激光产生的等离子体的短波长带外EUV发射
机译:激光产生的氧等离子体中的短波红外线发射