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Oberflachenuntersuchungen mit Vakuum-UV-Strahlung

机译：真空紫外线辐射的表面检查

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Neue Materialien sind in vielen Bereichen der Schlussel fur technologische Entwicklungen. Dabei spielt die Quantifizierung relevanter Materi-alparameter wie die elektronische, chemische und morphologische Struktur sowie die elementare Zusammensetzung eine zentrale Rolle. Der Mangel an geeigneten Referenzproben fur quantitative analytische Verfahren erfordert in diesem Zusammenhang jedoch oft eine messtechnische Ruckfuhrung. Daher wurden mit der Inbetriebnahme des PTB-Laboratoriums bei BESSY II im Jahre 1999 und der MLS im Jahre 2008 neben und basierend auf der Radiometrie [1-5] verschiedene Themen der Materialmetrologie mit Synchrotronstrahlung aufgegriffen, die auch umfangreiche Beteiligungen im Rahmen des Europaischen Metrologie-Forschungsprogramms EMRP moglich gemacht haben. Dies betrifft die Rontgenspektrometrie und die referenzprobenfreie Rontgenfluoreszenzanalytik [6], die Nanometrologie, d. h. die ruckfuhrbare Bestimmung von Partikelgrossen [7], Oberflachen-strukturen [8] und Schichtdicken [5] im Nanome-terbereich durch Rontgenkleinwinkelstreuung und -reflektometrie, die Mikro- und Nanospektroskopie im Infrarot- und THz-Bereich [9] sowie Ober-flachenuntersuchungen mit Synchrotronstrahlung im Spektralbereich des Vakuum-UV (VUV). Dazu werden im Folgenden erste Ergebnisse der Ellip-sometrie in diesem Spektralbereich vorgestellt, die in einer vertraglich vereinbarten Kooperation mit dem Leibniz-Institut fur Analytische Wissenschaften ISAS (AG Prof. N. Esser) erzielt wurden, sowie der Photoelektronenspektroskopie im Rahmen einer vertraglich vereinbarten Kooperation mit der TU Berlin (AG Prof. W. Eberhardt).
机译：新材料是许多领域技术发展的关键。相关材料参数（例如电子，化学和形态结构以及元素组成）的量化起着核心作用。但是，在这种情况下，缺乏适合定量分析方法的参考样品常常需要计量可追溯性。因此，在1999年BESSY II的PTB实验室和2008年的MLS投入使用的基础上，除了辐射学[1-5]并基于辐射学[1-5]以来，涉及同步加速器辐射的材料计量学的各个主题也涉及欧洲计量学的广泛参与。研究计划EMRP成为可能。这涉及X射线光谱法和无参考样品的X射线荧光分析[6]，纳米计量学，即。 H。通过小角度X射线散射和反射法，红外和太赫兹范围[9]的显微和纳米光谱以及表面检查，可追溯地确定纳米范围内的粒径[7]，表面结构[8]和层厚度[5]真空紫外线（VUV）光谱范围内的同步辐射。为此，下面介绍了该光谱范围内的椭圆偏振法的第一个结果，这些结果是通过与莱布尼兹分析科学研究所ISAS（AG N. Esser教授）达成合同约定的合作，以及作为合同约定的合作的一部分的光电子能谱实现的与柏林工业大学（AG教授W. Eberhardt）合作。

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