Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach

Roland Fussl; Rainer Grunwald; Ingomar Schmidt

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Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach

机译：借助新型矢量模型方法分析纳米定位和纳米测量机（NPM-Machines）的测量不确定度

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Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) are pieces of technological equipment that allow positioning, touching and measuring of centimeter-sized objects with nanometer precision. The specification of measurement results requires the expression of the uncertainty in measurement. The present paper describes a new modular concept for the expression of uncertainty budgets of NPM-Machines based on a vectorial metrological model.

机译：纳米定位和纳米测量机（NPM-Machines）是技术设备，可以以纳米精度定位，触摸和测量厘米级的物体。测量结果的规范要求表达测量不确定度。本文介绍了一种新的模块化概念，用于基于矢量计量模型来表达NPM机器的不确定性预算。

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来源
《Technisches Messen: Sensoren, Gerate, Systeme》 |2006年第9期|共7页
作者
Roland Fussl; Rainer Grunwald; Ingomar Schmidt;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 ger
中图分类计量学;
关键词
Nanometrology; uncertainty of nanopositioning and nanomeasuring machines; vectorial metrological model;

机译：纳米计量学;纳米定位和纳米测量机的不确定性;矢量计量模型;

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