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Diagnostics of the gas-phase thermal decomposition of Si2H6 using vacuum ultraviolet photoionization

机译：真空紫外光电离对Si2H6气相热分解的诊断

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Vacuum ultraviolet (VUV) photoionization at 10.2 eV was employed for the detection of gas-phase molecules formed after thermal decomposition of disilane at a total pressure of 30 Torr and in the temperature range of 298-740 K. The SinH2(n+1) (n = 3-5) and SinH2n (n = 2-5) species resulting from disilane pyrolysis in a flow reactor were directly observed using time-of-flight mass spectrometry. Unlike multiphoton ionization at 6.4 eV photons, no fragmentation was observed by the VUV single-photon ionization at 10.2 eV. (C) 2000 Elsevier Science B.V. All rights reserved. [References: 20]
机译：在10.2 eV的真空紫外（VUV）光电离被用于检测乙硅烷在30 Torr的总压力和298-740 K的温度范围内热分解后形成的气相分子。SinH2（n + 1）使用飞行时间质谱法直接观察到（n = 3-5）和在流动反应器中乙硅烷热解产生的SinH2n（n = 2-5）物质。与在6.4 eV光子下的多光子电离不同，在10.2 eV的VUV单光子电离没有观察到碎片。 （C）2000 Elsevier Science B.V.保留所有权利。 [参考：20]

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