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Performance and stability analysis of gas-lubricated journal bearings in MEMS

机译：MEMS气润滑轴颈轴承的性能和稳定性分析

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A mathematical model and a computational methodology are presented to simulate the complicated flow behaviors of the journal microbearing in the slip regime, at which the Knudsen number ranges from 0.01 to 0.06. A modified Reynolds equation is derived with the slip effect. Static performances of the microbearing are analyzed using spectral collocation method. The effects of the length-to-diameter ratio and slip on the stability of the system are analyzed and the corresponding stability boundaries are calculated numerically. The results indicate that the slip-flow boundary condition enhances the stability of the equilibrium points of the gas-lubricated journal bearing-rotor system.
机译：提出了数学模型和计算方法，以模拟滑动状态下轴颈微轴承的复杂流动行为，在这种情况下，克努森数的范围为0.01至0.06。利用滑移效应推导了修正的雷诺方程。使用光谱搭配方法分析了微轴承的静态性能。分析了长径比和滑移对系统稳定性的影响，并通过数值计算了相应的稳定性边界。结果表明，滑流边界条件增强了气润滑轴颈轴承-转子系统平衡点的稳定性。

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