...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Tribology International >Nano-level finishing of single crystal silicon blank using magnetorheological finishing process
【24h】

Nano-level finishing of single crystal silicon blank using magnetorheological finishing process

机译：磁流变精加工工艺对单晶硅毛坯进行纳米级精加工

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Magnetorheological finishing (MRF) utilizes magnetorheological (MR) fluid, which consists of magnetic particles, nonmagnetic abrasives, and some additives in water or other carrier to polish the materials. An experimental study is conducted to predict the effect of process parameters (concentration of magnetic particles and abrasive particles, carrier wheel speed, and initial surface roughness) on surface finish and material removal rate in MRF of single crystal silicon blank. The final surface roughness value in terms of arithmetical mean roughness (Ra) obtained is as low as 8 nm from the initial value of 1300 nm. An optimization study is also carried out to find optimum values of process parameters from the selected range.
机译：磁流变精加工（MRF）利用磁流变（MR）流体，该流体由磁性颗粒，非磁性磨料和一些添加剂在水中或其他载体中制成，以抛光材料。进行了一项实验研究，以预测工艺参数（磁性颗粒和磨料颗粒的浓度，承载轮速度和初始表面粗糙度）对单晶硅毛坯MRF中的表面光洁度和材料去除率的影响。根据所获得的算术平均粗糙度（Ra），最终的表面粗糙度值从1300nm的初始值低至8nm。还进行了优化研究，以从所选范围中找到过程参数的最佳值。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号