F_2-Lasermikrostrukturierung von diffraktiven Phasenelementen

Pfeifer M.; Jahn F.; Kratsch A.; Steiger B.; Weissmantel S.

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F_2-Lasermikrostrukturierung von diffraktiven Phasenelementen

机译：F_2衍射相元素的激光显微组织

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Die Fluorlasermikrobearbeitung ermoglicht die direkte Strukturierung diffraktiver Phasenelemente in wide band gap Materialien und Quarzglas. Diese Elemente konnen zur Laserstrahlformung im weiten Wellenlangenbereich von 157 bis 1100 nm eingesetzt werden. Demonstriert werden ausgewahlte Phasenelemente in Quarzglas und Kalziumfluorid zur Laserstrahlformung im sichtbaren Wellenlangenbereich. Des Weiteren wird ein Strahlformer fur einen Faserlaser mit einer Wellenlange von λ = 1070 nm vorgestellt. Der Hauptvorteil gegenuber den aktuell genutzten Strahlhomogenisierungen auf der Basis von konventionellen Optiken ist deren viel kompaktere Bauweise. Die Fluorlasermikrostrukturierung bietet eine effektive Alternative zu Lithographieverfahren in Hinblick auf eine schnelle und kosteneffiziente Einzel- und Prototypenfertigung. Des Weiteren ermoglicht sie die Mikrostrukturierung von Kalziumfluorid, was als Material fur Strahlformer fur die Excimerlaserwellenlangen 157 nm und 193 nm Verwendung findet und aufgrund seiner Materialeigenschaften nur schwer mittels Lithographieverfahren strukturierbar ist.

机译：氟激光微加工可以在宽带隙材料和石英玻璃中直接构造衍射相元素。这些元件可用于157至1100 nm的宽波长范围内的激光束整形。演示了石英玻璃和氟化钙中用于在可见光波长范围内整形的选定相位元素。此外，提出了一种用于光纤激光器的光束整形器，其波长为λ= 1070 nm。相对于当前使用的基于常规光学器件的光束均质化的主要优势在于其更紧凑的设计。就快速和经济有效的单件和原型生产而言，氟激光微结构化是光刻工艺的有效替代方案。此外，它能够实现氟化钙的微结构化，该氟化钙用作准分子激光波长为157 nm和193 nm的光束整形器的材料，并且由于其材料特性，很难使用光刻工艺进行结构化。

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来源
《DVS-Berichte》 |2014年第307期|共9页
作者
Pfeifer M.; Jahn F.; Kratsch A.; Steiger B.; Weissmantel S.;
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原文格式 PDF
正文语种 ger
中图分类焊接、金属切割及金属粘接;
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