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The novel synchronous ion shield mass analyzer

机译:新型同步离子屏蔽质量分析仪

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摘要

The novel synchronous ion shield (SIS) mass analyzer enables the fabrication of a mass spectrometer on a chip. It is specially developed to account for fabrication restrictions in micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology. This technology allows to fabricate 100 mass spectrometer chips (7-10 mm(2)) simultaneously on a substrate of 100 mm diameter. Descriptive insights of the SIS mass analyzer with its surrounding ion optics and energy filter are presented. Simulation results and experiments prove the concept and show the performance of the device.
机译:新型同步离子屏蔽(SIS)质量分析仪可在芯片上制造质谱仪。它是专门为解决微机电系统(MEMS)技术中的制造限制而开发的。该技术允许在直径为100 mm的基板上同时制造100个质谱仪芯片(7-10 mm(2))。介绍了SIS质量分析仪及其周围的离子光学系统和能量过滤器的描述性见解。仿真结果和实验证明了该概念并显示了该设备的性能。

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