...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Journal of Micromechanics and Microengineering >Fine tuning the roughness of powder blasted surfaces
【24h】

Fine tuning the roughness of powder blasted surfaces

机译：微调喷砂表面的粗糙度

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Powder blasting (abrasive jet machining) has recently been introduced as a bulk-micromachining technique for brittle materials. The surface roughness that is created with this technique is much higher (with a value of R, between 1-2.5 mum) compared to general micromachining techniques. In this paper we study the roughness of powder blasted glass surfaces, and show how it depends on the process parameters. The roughness can also be changed after blasting by HF etching or by using a high-temperature anneal step. Roughness measurements and scanning electron microscopy images show the quantitative and qualitative changes in roughness. These post-processes will allow us to investigate the influence of surface roughness on the microsystem performance in future research. [References: 20]
机译：最近，喷砂（磨料喷射加工）已被用作脆性材料的整体微加工技术。与普通的微加工技术相比，用这种技术产生的表面粗糙度要高得多（R值在1-2.5微米之间）。在本文中，我们研究了喷砂玻璃表面的粗糙度，并显示了粗糙度如何取决于工艺参数。喷砂后通过HF蚀刻或使用高温退火步骤也可以改变粗糙度。粗糙度测量和扫描电子显微镜图像显示了粗糙度的数量和质量变化。这些后处理将使我们能够在将来的研究中研究表面粗糙度对微系统性能的影响。 [参考：20]

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号