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机译:基于聚二甲基硅氧烷的图案转移工艺,用于将MEMS后IC集成到CMOS芯片上
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机译:集成了对温度不敏感的MEMS传感器和CMOS信号处理电路的呼吸检测芯片
机译:适用于FLC芯片的新型可编程CMOS模糊器和C2V电路,用于MEMS葡萄糖传感器的信号处理
机译:用于互连后单芯片集成应用的CMOS兼容MEMs工艺
机译:用于将金属MEMS进行IC后集成到有源电路的附加图案转移技术。
机译:0.25μmCMOS工艺中的MEMS集成实验
机译:新型可编程CmOs模糊器和C2V电路适用于FLC芯片,用于mEms葡萄糖传感器的信号处理
机译:芯片上的微机械传感器系统:mEms与CmOs的集成及其应用