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An easy-to-implement method for evaluation of capacitive resonant sensors

机译：一种易于实现的电容谐振传感器评估方法

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A novel method that can be used to characterize resonant capacitive sensors is presented. The method is based on measurement of the third harmonic of the current through the capacitor; thus the detection signal is frequency separated from the excitation signal. The measurement is time-continuous and only requires a very simple resonant structure where a single electrode is simultaneously used for excitation and detection. The readout circuit is easily implemented with a single operational amplifier and standard equipment such as a lock-in amplifier or a function generator and a spectrum analyzer. Measurements of a resonant structure confirm the feasibility of the concept.
机译：提出了一种可用于表征谐振电容传感器的新颖方法。该方法基于对流经电容器的电流的三次谐波的测量。因此，检测信号与激励信号是频率分离的。测量是时间连续的，仅需要非常简单的谐振结构，其中单个电极同时用于激发和检测。使用单个运算放大器和标准设备（例如锁定放大器或函数发生器和频谱分析仪）即可轻松实现读出电路。谐振结构的测量证实了该概念的可行性。

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