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首页> 外文期刊>Journal of Micromechanics and Microengineering >Fabrication of a nano/micro hybrid lens using gas-assisted hot embossing with an anodic aluminum oxide (AAO) template
【24h】

Fabrication of a nano/micro hybrid lens using gas-assisted hot embossing with an anodic aluminum oxide (AAO) template

机译：使用带有阳极氧化铝（AAO）模板的气体辅助热压花制造纳米/微混合透镜

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This paper reports a novel and effective method for the fabrication of a polymeric nano/micro hybrid lens array. The nanostructure and microlens arrays are fabricated on the same polycarbonate (PC) substrate by hot embossing in sequence. First, an anti-reflection PC film with sub-wavelength nanostructures is fabricated using an anodic aluminum oxide (AAO) template. The anti-reflection characteristic of nanostructures on the PC film is evaluated. Then an array of convex microlenses is formed from the nanostructured PC film using a stainless steel mold with a microhole array. Both processes employ gas-assisted hot embossing to perform the partial protrusion of the film into nano-sized or micro-sized holes in the AAO template and steel mold. The optical property of the microlens has been verified. This proposed technique has proven its potential for effectively fabricating a nano/micro hybrid lens array on a polymeric substrate.
机译：本文报道了一种新颖而有效的方法来制造聚合物纳米/微混合透镜阵列。纳米结构和微透镜阵列通过顺序热压印在同一聚碳酸酯（PC）基板上制成。首先，使用阳极氧化铝（AAO）模板制造具有亚波长纳米结构的抗反射PC膜。评价PC膜上的纳米结构的抗反射特性。然后，使用具有微孔阵列的不锈钢模具，由纳米结构的PC膜形成凸微透镜阵列。两种工艺都采用气体辅助的热压花，以将膜部分突出到AAO模板和钢模中的纳米级或微米级孔中。微透镜的光学性质已得到验证。该提出的技术已经证明了其在聚合物基底上有效地制造纳米/微混合透镜阵列的潜力。

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