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Engineering of thermo-optic properties in ion implanted lithium niobate waveguides by electronic stopping power

机译：电子截止功率在离子注入铌酸锂波导中的热光特性工程

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The thermo-optic (TO) properties of the lithium niobate waveguide fabricated by oxygen ion implantation at three different energies (2, 3 and 6 MeV) have been investigated. It is found that, as the electronic stopping power (S_e) of the O ions is below a threshold ～2.2 keV nm~(-1), the TO features are well preserved in the waveguide regions. When S_e is above this value, the TO coefficients of the waveguides are considerably modified, which is attributed to the increased defect generation in the crystal.
机译：研究了通过氧离子注入在三种不同的能量（2、3和6 MeV）下制备的铌酸锂波导的热光（TO）特性。研究发现，由于O离子的电子截止功率（S_e）低于阈值〜2.2 keV nm〜（-1），因此在波导区域中可以很好地保留TO特性。当S_e高于该值时，波导的TO系数会大大改变，这归因于晶体中缺陷生成的增加。

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