...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Journal of Physics, D. Applied Physics: A Europhysics Journal >The cylindrical DC magnetron discharge: II. The negative space charge mode
【24h】

The cylindrical DC magnetron discharge: II. The negative space charge mode

机译：圆柱形直流磁控管放电：II。负空间充电模式

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Particle-in-cell (PIG) simulations in one spatial dimension of a cylindrical post-cathode direct current magnetron discharge have shown that there is a continuous transition from a positive space charge (PSC) mode of operation at higher pressures to a negative space charge (NSC) mode at lower pressures. In this paper we extend this work using a PIC code to investigate the NSC mode in detail. Profiles of ionization and inelastic collision rate, averaged charged particle energies and energy distributions indicate that the size and location of the region of power dissipation depend strongly on the operating pressure. Langmuir probe measurements of the radial distribution of floating potential in a laboratory magnetron discharge do not exhibit the systematic variation with changes in magnetic field or pressure that are predicted by the simulations. This implies the existence of an anomalous transport mechanism which maintains the PSC mode at low pressures and which cannot be modelled self-consistently by a PIC code in one spatial dimension. [References: 28]
机译：圆柱后阴极直流磁控管放电在一个空间维度上的粒子模拟（PIG）表明，从高压下的正空间电荷（PSC）操作模式到负空间电荷有连续的过渡（NSC）模式在较低的压力下。在本文中，我们使用PIC代码扩展了这项工作，以详细研究NSC模式。电离和非弹性碰撞率，平均带电粒子能量和能量分布的曲线表明，功率耗散区域的大小和位置在很大程度上取决于工作压力。 Langmuir探针对实验室磁控管放电中的浮动电位的径向分布的测量结果并未显示出模拟所预测的磁场或压力变化的系统变化。这意味着存在异常传输机制，该机制会在低压下保持PSC模式，并且无法通过PIC代码在一个空间维度上自洽地建模。 [参考：28]

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号