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EUV emission from Kr and Xe capillary discharge plasmas

机译：Kr和Xe毛细管放电等离子体的EUV发射

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Kr and Xe plasmas are very intensive emitters in the spectral range of 100-150 Angstrom, which is relevant for a number of applications (for example microlithography). We present investigations of the extreme utraviolet (EUV) emission from a slow capillary discharge with Kr and Xe fillings. The emission of Kr ions (Kr VIII to Kr XI) within the range of 70-150 Angstrom consists of three bands of lines of about 10 Angstrom width with maxima at 116, 103 and 86 Angstrom. Xe emission bands of about 15 Angstrom width have their maxima at 136 and 115 Angstrom (Xe IX to Xe XII). The radiation duration in this spectral range is similar to 150 ns for both elements. At the optimum conditions, the Kr emission at 103 Angstrom is 2-3 times more intense than the Xe emission at 136 Angstrom. The measured spectral energy of Kr radiation is about 0.1 J sr(-1) Angstrom(-1). Experimental results are compared with numerical modellings of the dynamics and emission of the capillary discharge plasma, which enables the determination of plasma parameters and the future use of the codes as additional instruments for plasma diagnostics. [References: 28]
机译：Kr和Xe等离子体是100-150埃光谱范围内的非常强的发射体，这与许多应用（例如微光刻）有关。我们目前对由Kr和Xe填充物引起的缓慢毛细管放电引起的极端紫外线（EUV）发射进行了研究。在70-150埃范围内的Kr离子（Kr VIII至Kr XI）的发射由大约10埃宽度的三个谱带带组成，最大带宽分别为116、103和86埃。大约15埃宽度的Xe发射带的最大值为136和115埃（Xe IX至Xe XII）。对于两个元素，在此光谱范围内的辐射持续时间均类似于150 ns。在最佳条件下，在103埃的Kr发射强度比在136埃的Xe发射强度高2-3倍。测得的Kr辐射的光谱能量约为0.1 J sr（-1）埃（-1）。将实验结果与毛细管放电等离子体的动力学和发射的数值模型进行了比较，这可以确定等离子体参数，并在将来将代码用作等离子体诊断的附加工具。 [参考：28]

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