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【24h】

The dual frequency radio-frequency sheath revisited

机译:再谈双频射频护套

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摘要

A recent paper (Riboche et al 2003) gave a treatment of this problem as a generalization of earlier work by Lieberman (1988). The expressions produced are intrinsically complicated and there is a natural tendency to resort to numerical methods at an early stage. This note adopts an alternative approach and seeks to evaluate the integrals concerned in a systematic manner so as to obtain analytical expressions, albeit approximations, but ones with known accuracy. [References: 2]
机译:最近的一篇论文(Riboche等人,2003年)对这个问题进行了处理,作为对Lieberman(1988年)早期工作的概括。产生的表达式本质上是复杂的,并且很自然地倾向于在早期使用数字方法。本说明采用了一种替代方法,并试图以系统的方式评估有关的积分,以便获得解析表达式(尽管近似),但具有已知的准确度。 [参考:2]

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