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Non-destructive film thickness measurement

机译:无损膜厚测量

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摘要

Comparing the iridescent pattern of a soap-bubble with the also iridescent surface of a wafer it is obvious that both is caused by the same optical effect:the white-light-interference.Certain wavelengths of the visible light are either amplified or attenuated by the interferences of the reflected rays so that the surface reflects the light in different colors,depending on the film thickness.This effect can be used for the non-destructive and non-contacting film thickness measurement.
机译:将肥皂泡的虹彩图案与晶圆的虹彩表面进行比较,很明显两者都是由相同的光学效应引起的:白光干涉。可见光的某些波长被光放大或衰减。反射光线的干涉,使表面反射不同颜色的光,具体取决于薄膜厚度。该效果可用于无损和非接触式薄膜厚度测量。

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