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日本の技術力で花開く次世代産業--MEMS市場の展望と技術開発の現状

机译:日本技术蓬勃发展的下一代产业-MEMS市场前景和技术发展现状

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摘要

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は、電気信号で動く数mm角程度の微小な機械システムである。省エネルギーや省資源への極限技術と注目され、シリコン系無機材料や有機材料を使った技術開発が進められ、通信、情報、自動車、民生、計測、バイオ医療などの分野への応用研究が活発化している。筆者の鷲野澄雄氏は、大手化学会社において半導体用シリコン単結晶事業の立ち上軌こ次いで、コンデンサ用タンタル粉、GE社のバワーキャパシター用誘電体フイルム、シリコーン樹脂、シリコンカーバイト結晶などの営業開発を手掛け、2001年に定年退職された。
机译:MEMS(微电子机械系统)是一种由电信号驱动的约数平方毫米的微小机械系统。人们正在关注节能和资源节约的最终技术,并且正在促进使用硅基无机材料和有机材料的技术开发,并且在通信,信息,汽车,消费,测量和生物医学等领域的应用研究正在活跃。 ing。作者Sumio Washino在一家大型化学公司开始了半导体的硅单晶业务,随后开发了电容器的钽粉,GE的功率电容器的介电膜,硅树脂,碳化硅晶体等的销售。他于2001年退休。

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