ズテッパー技術の最先端

石山敏朗; ISHIYAMA Toshiro

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ズテッパー技術の最先端

机译：Z-Tepper技术的尖端

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「今日，我々の生活の中に半導体デバイスが無かったなら…」そんなことを考えることは，ナンセンスとしか言いようがない。しかし，それがどのような技術に立脚してできているかを知る人は，一般には，それほど多くはない。本稿では，半導体デバイス製造の主役を担う光リソグラフィーの心臓部，ステッパー投影光学系について，これまでの変遷，投影レンズの概要，最近の技術的トピックスをオムニバス的に述べていきたい。

机译：“如果今天我们的生活中没有半导体器件……”只能说，考虑这些事情是胡说八道。但是，通常没有多少人知道它基于哪种技术。在本文中，我将全面介绍步进式投影光学系统的历史，光学光刻的核心，它在半导体器件的制造，投影透镜的轮廓以及最新的技术主题中起着主导作用。

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来源
《光技術コンタクト》 |2002年第9期|共9页
作者
石山敏朗; ISHIYAMA Toshiro;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类光学;
关键词

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