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球面収差補正透過型電子顕微鏡法を用いたアトミックスケールでの構造解析

机译:使用球差校正透射电子显微镜在原子尺度上进行结构分析

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摘要

近年,透過型電子顕微鏡の空間分解能は,Haiderらが球面収差補正装置の開発に成功したことにより,格段に向上している.現象さまざま副文差補正装置が開発され,球面収差を含めたより高次の収差も取り除くことができるようになっている.収差補正電子顕微鏡の開発は,イギリス,アメリカ,ヨーロッパなどで国家プロジェクトとして進められ,日本においても科学技術振興機構のCRESTが0.5?(ボーア半径)分解能を目指したプロジェクトを実施した(2005~2010年).このプロジェクトでは,非対称収差補正装置を搭載した加速電圧300kVの電子顕微鏡R005が開発されている.本稿では,R005を用いた観察例を紹介する.
机译:近年来,Haider等人成功开发了球面像差校正器,大大提高了透射电子显微镜的空间分辨率。现象已经开发了各种亚文本差异校正装置,并且已经可以消除包括球面像差的高阶像差。在英国,美国,欧洲等国家,已经推广了像差校正电子显微镜的开发,并且在日本,日本科学技术厅的CREST实施了以0.5?(玻尔半径)分辨率为目标的项目(2005-)。 2010)。在该项目中,已经开发了具有非对称像差校正装置的,具有300 kV加速电压的电子显微镜R005。本文介绍了使用R005进行观测的示例。

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