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TEM-EELSによる微小領域の分析

机译：通过TEM-EELS分析微小区域

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摘要

TEM-EELSはすでに長い歴史がありますが、現在も装置に係る研究が盛んです．EFTEM装置はin－Column乳pos-coluumn型ともに改良が進んでいますし，STEMspectrum imaging法が実用的になったのも．この数年のことです。 最近のTEMに関するトピックスは対物レンズの球面収差を補正する装置と．入射電子用モノクロメーターですが。 いずれもTEM－EELS法に大きな進歩をもたらします．STEM用の球面収差補正装置では、プローブ径の縮小（空間分解能の向上）だけではなく．プローブ電流の増大が期待できます．一方モノクロメーターでは，EELSのエネルギー分解能が0.1eV以下まで向上できます．TEM－EELSにおける究極の計測は，「原子コラム単位での元素分析と化学結合状態の解析」にあると著者は考えていますが，それが実現されるのもそう遠くはないと思っています。
机译：TEM-EELS历史悠久，但对设备的研究仍很活跃。 EFTEM装置已针对柱内牛奶正柱型进行了改进，并且STEM光谱成像方法已变得实用。已经好几年了与TEM有关的最新主题是校正物镜的球差的装置。它是用于入射电子的单色仪。两者都为TEM-EELS方法带来了巨大的进步。在用于STEM的球面像差校正装置中，不仅减小了探头直径（提高了空间分辨率），而且还减小了探头直径。可以预期探针电流会增加。另一方面，使用单色仪，EELS的能量分辨率可以提高到0.1 eV或更小。作者认为TEM-EELS的最终测量在于“原子列单元的元素分析和化学键态分析”，但我认为不久就可以实现。

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