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筑波大学微細加工プラットフォーム

机译:筑波大学微加工平台

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摘要

筑波大学微細加工プラットフォームは、つくば地区の物質·材料研究機構(NIMS)、産業技術総合研究所(AIST)と密接に連携し、北開東エリアの民間中小企業の支援を行うことを重要なミッションとしている。ナノエレクトロニクスのほか、MEMS/NEMS、環境·エネルギー、バイオなどの分野において、デバイス化や試料作製に必要な材料·デバイス設計、およびそれを具体化するマスク製作、機能膜の堆積、ナノ加工、パッケージング、電気測定などの支援を行っている。
机译:筑波大学微加工平台的重要使命是与筑波地区的材料与材料研究组织(NIMS)和工业技术研究院(AIST)密切合作,为Kaito地区北部的民营中小企业提供支持。据说。除纳米电子学外,在MEMS / NEMS,环境/能源,生物技术等领域,设备化和样品制备,掩模制造,功能膜沉积,纳米处理和体现其包装的材料/设备设计也是如此。我们提供电气测量等支持。

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