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時代が求める「シリコンカーバイド」一応用編

机译:时代要求“碳化硅”的一种应用

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摘要

シリコンカーバイド(SiC、炭化ケイ素)が本格的な実用期を迎えようとして いる。今日、多種多様な機器に使われている半導体デバイス材はSiを中心とし たものだが、機能·物性の高度化ニーズに対応するには性能限界にきていると いわれている。
机译:碳化硅(SiC,SiC)即将进入全面的实用化时期。如今,用于各种器件中的半导体器件材料主要是Si,但是据说已经达到性能极限,以满足对高级功能和物理特性的需求。

著录项

  • 来源
    《工業材料》 |2009年第10期|共1页
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 工程材料学;
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