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【24h】

溶液を反応場とするプロセス制御と材料創製：アルミニウムの表面高機能化と電子分野への応用－半導体製造装置への適用

机译：使用解决方案作为反应场的过程控制和材料创建：铝的更高表面功能性及其在电子领域的应用-在半导体制造设备中的应用

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アルミニウム合金は，自動車軽量化のニーズが発現されて以来，種々の開発が進んでいる．そのうち，ボディーパネル用材料については塗装耐久性を改善する必要があったが，表面に薄いZnまたはZn合金を析出させる，いわゆるジンケート処理を高度に改良することで活性な表面に改質できることを考案した．その結果，塗装前処理である化成処理性（リン酸亜鉛処理性）を鋼材やZn系めっき鋼板と同等レベルに向上させることができ，塗装耐久性の課題を解決して実車に適用されている．現在，さらに表面層を制御するという観点から技術開発を進めており，熱処理，酸やアルカリ溶液による洗浄，プレコートといった手法を用いて新たな市場ニーズに応えている．他方，これらの知見から，アルミニノウム合金の表面を高機能化することによって様々な応用が可能になると考えた．そこで，自動車分野に次いで電子分野に着目し，半導体デバイスの製造装置への適用を検討した．
机译：自从表达了减轻汽车重量的需求以来，铝合金已经取得了各种发展。其中，有必要提高车身面板材料的涂层耐久性，但我们设计出可以通过高度改进所谓的锌酸盐处理将其改性为活性表面，从而在表面沉积一层薄的Zn或Zn合金。做到了。结果，可以将作为预涂层处理的化学转化加工性（磷酸锌加工性）提高到与钢材和镀锌基钢板相同的水平，并且解决了涂层耐久性的问题并将其应用于实际车辆。 ..当前，从进一步控制表面层的观点出发，我们正在进行技术开发，并且通过使用诸如热处理，用酸或碱溶液清洗以及预涂等方法来满足新的市场需求。另一方面，基于这些发现，我们认为通过改善铝合金表面的功能性，可以进行各种应用。因此，我们专注于汽车领域之后的电子领域，并研究了半导体器件在制造设备中的应用。

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