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非鉛系圧電セラミックスの研究開発動向：集積化非鉛系圧電セラミックスの合成と評価

机译：无铅压电陶瓷的研发趋势：集成无铅压电陶瓷的合成与评估

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溶液原料を直接基板上に堆積することにより，機能性の薄膜を合成する方法（化学溶液堆積法）には，金属アルコキシド等の加水分解反応を利用したゾル－ゲル法や有機金属化合物の熱分解法等が含まれる．ゾル－ゲル反応の加水分解－重縮合過程で形成される金属－酸素からなるネットワーク構造は，有機金属塗布熱分解法とは，特徴を異にするものであり，なかでも，目的の結晶構造を容易に誘導するように，原料溶液内の前駆体分子構造を制御する先進的な方法では，最終的な結晶化にかかるエネルギーが従来法と比較して低減され，比較的低温で薄膜を合成できるため，魅力的である．この方法は，光デバイスとして開発が進められているLiNbO{sub}3強誘電体薄膜や，強誘電体メモリとして実用化が進められているSrBi{sub}2Ta{sub}2O{sub}9強誘電体薄膜の低温結晶化法として報告されてきた．ここでは，環境負荷の大きな有害元素の鉛を含まない，次世代型の圧電デバイスへの応用を考えて，筆者が進めてきたビスマス系層状強誘電体CaBi{sub}4Ti{sub}4O{sub}15の集積体への適用と構造制御に関して得られた結果を紹介する．
机译：通过将溶液原料直接沉积在基板上来合成功能薄膜的方法（化学溶液沉积法）包括使用金属醇盐的水解反应和有机金属化合物的热分解的溶胶-凝胶法。包括法律等。溶胶-凝胶反应的水解-超缩合工序中形成的由金属-氧构成的网络结构具有与有机金属被覆热分解法不同的特性，特别是可以得到目标结晶结构。控制原料溶液中的前体的分子结构的先进方法易于诱导，与常规方法相比，降低了最终结晶所需的能量，并且可以在相对较低的温度下合成薄膜。因此，它是有吸引力的。该方法用于正在开发为光学器件的LiNbO {sub} 3强介电薄膜，以及用于强介电存储器的SrBi {sub} 2Ta {sub} 2O {sub} 9强膜。据报道，这是用于电介质薄膜的低温结晶方法。在此，作者一直在研究的铋基层状强电介质CaBi {sub} 4Ti {sub} 4O {sub被认为适用于不包含铅的下一代压电器件，铅是环境负荷大的有害元素。我们介绍有关将15应用于集料和结构控制的结果。

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