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ナノテクの必須ツール、走査型プローブ顕微鏡研究開発から製品検査まで幅広い用途大手の汎用機に挑む複合機·専用機

机译:纳米技术,扫描探针显微镜的基本工具,从研发到产品检验的广泛应用挑战主要通用机器的多功能机器/专用机器

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摘要

走査型プローブ顕微鏡(SPM)は分解能が高いうえ、大気中や真空中、液中など幅広い環境下で使用でき、いまやナノテクノロジーの必須のツール。 研究開発から電子デバイスの製品検査の現場まで幅広い用途がある。金属や半導体だけでなく、高分子や生体材料の測定も可能になっている。 こうした需要の拡大を受けて国内では新製品が続々登場しており、大手2社の汎用機に島津製作所などが複合機や専用機で挑む構図が見えてきた。
机译:扫描探针显微镜(SPM)具有高分辨率,可在空气,真空和液体等广泛的环境中使用,现在已成为纳米技术必不可少的工具。从研发到电子设备的产品检验场所,它的应用范围很广。不仅可以测量金属和半导体,还可以测量聚合物和生物材料。为了应对这种需求的扩大,新产品在日本陆续出现,岛津和其他公司显然将通过复合机和专用机挑战两家主要公司的通用机。

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