大気圧非平衡DCパルス放電プラズマの発光分光計測及びPENフイルムの表面改質

湯地敏史; 須崎嘉文; 山脇孝; 松島勇雄; 赤塚洋; Toshifumi Yuji; Yoshifumi Suzaki; Takashi Yamawaki; Isao Matsushima; Hiroshi Akatsuka

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大気圧非平衡DCパルス放電プラズマの発光分光計測及びPENフイルムの表面改質

机译：大气压非平衡直流脉冲放电等离子体的发光光谱测量和PEN膜的表面改性

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現在，大気圧非平衡プラズマを用いたプラズマ表面処理技術は，大気圧非平衡プラズマ発生技術において多々の問題点が指摘されている反面，低コネトで比較的に簡単に大気圧下においてプラズマを発生させることができるため,ポリマー材料の表面改質や半導体材料における表面クリーニング技術など数多くの応用例力感昏ざれている［1-4］。

机译：当前，已经指出使用大气压非平衡等离子体的等离子体表面处理技术在大气压非平衡等离子体产生技术中存在许多问题，但是，另一方面，在大气压下以低连接产生等离子体相对容易。因为它可以使用，所以给许多应用实例留下了深刻的印象，例如聚合物材料的表面改性和半导体材料的表面清洁技术[1-4]。

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来源
《高温学会志》 |2007年第3期|共5页
作者
湯地敏史; 須崎嘉文; 山脇孝; 松島勇雄; 赤塚洋; Toshifumi Yuji; Yoshifumi Suzaki; Takashi Yamawaki; Isao Matsushima; Hiroshi Akatsuka;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类高压与高温物理学;
关键词
optical emission spectroscopy; Atmospheric-pressure non-equilibrium plasma jet; PEN film; rotational temperature; vibrational temperature;

机译：发射光谱;大气压非平衡等离子体射流;PEN膜;旋转温度;振动温度;

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