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セラミック窒化物薄膜の微小硬度および微細構造変化

机译:氮化陶瓷薄膜的显微硬度和显微组织变化

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摘要

金属材料等の表面に数ミクロンのセラミック系硬質膜を被讃する表面処理技術が切削工具,摺動部材,精密金型をはじめとする工業分野で適用されている。 多くの気相成膜技術の中でも,カソディックアークイオンプレーティング法により作製した膜は平衡状態図上に存在しない結晶構造が出現し,また優れた物理的特性を有することが知られている。 これらの薄膜は,立方晶から六方晶に榊変態する領域で,特に高硬度を示すとの報告があるがト統一的に理解されていないのが現状である。
机译:在金属材料表面覆盖数微米陶瓷硬质膜的表面处理技术已应用于工业领域,例如切削工具,滑动构件和精密模具。在许多气相沉积技术中,已知通过电弧电弧离子镀法生产的膜具有在平衡状态图上不存在的晶体结构,并且具有优异的物理性能。据报道,这些薄膜在它们从立方转变成六边形的区域显示出特别高的硬度,但是不能以统一的方式理解它们。

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