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【24h】

ミリ波帯電磁波を用いた窒化珪素の焼結プロセス

机译:使用毫米波波段电磁波的氮化硅烧结工艺

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摘要

近年,セラミツクスの新しい焼結法として,ミリ波帯電磁彼(波長10mm以下)の照射によって物質を加熱するミリ波加熱接が注目されている1)。 ミリ波加熱法と同様の電磁波を用いて物質を加熱する手法としては,波長120mm前後のマイクロ波を用いたマイクロ波加熱法が20数年前より研究されてきている。 ミリ波帯電磁波は,厳密には披長1mm〃1mのマイクロ波帯電横波に含まれる。 しかしながら,ミリ波加熱法は,従来の波長120mm前後のマイクロ波を用いた場合と比較して,装置構成やプロセス上の特徴が大きく異なる。 本研究では波長10mm以下の電磁波を用いた加熱プロセスを,ミリ波加熱法と呼ぶ。これらの電磁波を用いた加熱法の共通の特徴は,従来の電気炉やガスが外部の熱源からの暗射および熱伝導により物質を加熱するのに対して,物質内部に浸透した電磁波のエネルギーが熱に変換されることにより,物質を内部から発熱させる点である。ミリ波およびマイクロ波加熱法は物質を急速に加熱できるため,従来の加熱法と比較してエネルギー効率が高いと考えられている。
机译:近年来,作为用于陶瓷的新的烧结方法,通过毫米波波段的电磁波(波长10mm以下)的辐射来加热物质的毫米波加热接触器引起了人们的关注1)。作为类似于毫米波加热法的使用电磁波加热物质的方法,使用波长约120mm的微波的微波加热法已经研究了20多年。严格来说,毫米波电磁波包含在长度为1mm〃1m的微波带电横波中。但是,毫米波加热方法在设备配置和工艺特性方面与使用波长约为120 mm的微波的常规情况有很大不同。在本研究中,使用波长为10 mm或更小的电磁波进行加热的过程称为毫米波加热方法。这些使用电磁波的加热方法的一个共同特点是,尽管传统的电炉和气体通过暗辐射和来自外部热源的热传导来加热物质,但电磁波的能量会渗透到物质内部关键是物质通过转化为热量从内部加热。毫米波和微波加热方法被认为比常规加热方法更节能,因为它们可以快速加热物质。

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